国家自然科学基金(10405005)

作品数：7被引量：58H指数：2
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相关作者：冯志庆李东明刘东平谷建东牛金海更多>>
相关机构：大连民族学院大连交通大学更多>>
相关期刊：《Chinese Physics B》《光谱学与光谱分析》《真空科学与技术学报》《Plasma Science and Technology》更多>>
相关主题：A-C:FDIELECTRIC_BARRIER_DISCHARGE近红外氟化非晶碳薄膜发射光谱更多>>
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DBD-PECVD法制备高疏水性氟碳聚合物(a-C:F)薄膜的研究
《大连民族学院学报》2009年第1期45-50,共6页尹晔珺 李东明 刘东平 谷建东 牛金海 冯志庆 
国家自然科学基金资助项目(10405005)
以C4F8为放电气体,利用介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-PECVD)法制备了氟碳聚合物(a-C:F)薄膜。使用FTIR、AFM、接触角测量仪、台阶仪对a-C:F薄膜进行了表征,研究了放电压力及沉积时间对a-C:F薄膜的沉积速率、均方根表面粗糙度(RMS)和a-...
关键词：DBD--PECVD a—C:F C4F8 接触角 疏水特性 
ICP-CVD制备氟化非晶碳(a-C：F)薄膜的研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2009年第1期61-67,共7页谷建东 李东明 冯志庆 牛金海 刘东平 
国家自然科学基金资助项目(No.10405005)
本文使用CH2F2为源气体,利用电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)法在不同放电模式(连续或脉冲)、沉积气压、射频功率和位置下制备了a-C∶F薄膜。用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,通过FTIR、XPS对其结构进行了表征。研...
关键词：氟化非晶碳薄膜 沉积机理 原子力显微镜 发射光谱 
Growth of Fluorocarbon Films by Low-Pressure Dielectric Barrier Discharge被引量：1
《Plasma Science and Technology》2008年第1期74-77,共4页李伟 谭晓东 刘东平 刘艳红 冯忠庆 陈宝佯 
National Natural Science Foundation of China(No.10405005)
Plasma polymerized fluorocarbon （FC） films have been deposited on silicon substrates from dielectric barrier discharge （DBD） plasma of C4Fs at room temperature under a pressure of 25～125 Pa. The effects of the di...
关键词：fluorocarbon films dielectric barrier discharge X-ray photoelectron spectrometry 
Theoretical analysis of ion kinetic energies and DLC film deposition by CH4＋ Ar （He） dielectric barrier discharge plasmas
《Chinese Physics B》2007年第9期2809-2813,共5页刘艳红 张家良 马腾才 李建 刘东平 
Project supported by the National Natural Science Foundation of China （Grant No 10405005）.
The kinetic energy of ions in dielectric barrier discharge plasmas are analysed theoretically using the model of binary collisions between ions and gas molecules. Langevin equation for ions in other gases, Blanc law f...
关键词：ion energy dielectric barrier discharge diamond-like carbon deposition 
近红外相关光谱的多元散射校正处理研究被引量：54
《光谱学与光谱分析》2007年第5期877-880,共4页芦永军 曲艳玲 宋敏 
国家自然科学基金项目(10405005);吉林省科技发展计划项目(20040324-2);辽宁省自然科学基金项目(001064);大连民族学院博士启动基金项目(20056207)资助
近红外相关光谱法可以揭示待测成分光谱吸光度数据与浓度数据之间的全光谱线性相关性,明确待测成分在近红外波段的特征吸收位置,为定标波长的优选提供了依据。但是该相关光谱法极易受到样品颗粒的散射影响而掩盖与待测成分相关的光谱信...
关键词：近红外 相关光谱 多元散射校正 
Surface Roughness of Various Diamond-Like Carbon Films
《Plasma Science and Technology》2006年第6期701-707,共7页刘东平 刘艳红 陈宝祥 
supported by National Natural Science Foundation of China(No.10405005)
Atomic force microscopy is used to estimate and compare the surface morphology of hydrogenated and hydrogen-free diamond-like carbon （DLC） films. The films were prepared by using DC magnetron sputtering of a graphit...
关键词：atomic force microscopy diamond-like carbon surface roughness 
Surface properties of diamond-like carbon films prepared by CVD and PVD methods
《Chinese Physics B》2006年第3期575-579,共5页刘东平 刘艳红 陈宝祥 
Project supported by National Natural Science Foundation of China （Grant No 10405005）.
Diamond-like carbon （DLC） films have been deposited using three different techniques： （a） electron cyclotron resonance——plasma source ion implantation, （b） low-pressure dielectric barrier discharge, （c） fil...
关键词：diamond-like carbon film film deposition atomic force microscope 
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