陕西省教育厅科研计划项目(2010JK590)

作品数：2被引量：4H指数：2
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相关主题：产生器SIOX氮氧化硅红外吸收红外更多>>
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电阻阵列红外景物产生器微桥结构的研制及仿真被引量：2
《西安工业大学学报》2012年第8期613-616,共4页周顺 刘卫国 蔡长龙 刘欢 秦文罡 
陕西省教育厅专项科研计划项目(2010JK590);陕西省重点实验室开放基金项目(ZSKJ200904);西安工业大学"薄膜技术与光学检测"科研创新团队建设计划资助
为了进一步提高电阻阵列红外景物产生器的性能,设计并制作了该器件的微桥结构.利用SiOx与TiWN分别作为微桥结构的介电材料与电阻材料;利用表面工艺技术制作160×120阵列微桥结构;并对微桥结构进行了热学性能的仿真分析.研究结果表明:所...
关键词：红外景物产生器 微桥 微加工技术 SIOX TiWN 
氮氧化硅薄膜红外吸收特性的研究被引量：2
《兵工学报》2011年第10期1255-1259,共5页周顺 刘卫国 蔡长龙 刘欢 
陕西省教育厅专项科研计划项目(2010JK590);陕西省重点实验室开放基金项目(ZSKJ200904)
利用等离子体增强化学气相沉积法沉积氮氧化硅(SiOxNy)薄膜,通过X射线光电子能谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、椭偏仪等表征技术,研究不同N2O与NH3流量比R条件下薄膜的组分、光学常数及红外吸收特性。研究结果表明:随着流量比R的增加,SiO...
关键词：光学 薄膜 氮氧化硅 红外吸收 等离子体增强化学气相沉积 
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