云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 湖北省自然科学基金(2003ABA066)

湖北省自然科学基金(2003ABA066): 作品数：2被引量：4H指数：1; 导出分析报告; 相关作者：章天金张柏顺刘江华江娟何军更多>>; 相关机构：湖北大学更多>>; 相关期刊：《电子元件与材料》更多>>; 相关主题：粗糙度BST薄膜TIOPT/TI电极介电特性更多>>; 相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>

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TiO_x层在Pt/Ti电极中对Ti扩散的抑制作用被引量：2: 《电子元件与材料》2006年第3期24-26,共3页张柏顺何军章天金; 湖北省自然科学基金资助项目(2003ABA066); 采用直流磁控溅射方法在SiO2/Si衬底上制备出Pt/Ti和Pt/TiOx底电极。用XRD分析其晶相结构,用AFM测量其晶粒尺寸和表面粗糙度。结果表明,用TiOx层代替金属Ti后,能有效地抑制在高温环境下Ti原子向Pt层扩散,使电极表面粗糙度减小(粗糙度为2...; 关键词：电子技术铁电薄膜 PT/TI电极粗糙度 Ti扩散

R.F.溅射Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3/RuO_2薄膜及其介电特性研究被引量：2: 《光电子技术与信息》2004年第2期19-22,共4页张柏顺章天金江娟刘江华; 湖北省自然科学基金资助项目(2003ABA066);湖北省教育厅自然科学基金资助项目(2003A006); 用R.F.磁控溅射法在p—Si(100)衬底上沉积Ba0.5Sr0.5TiO3/RuO2异质结,BST薄膜的晶相和表面形貌用XRD和SEM分析,表明在衬底温度为550℃时,薄膜的结晶度高、表面粗糙、晶粒较大.电容器InGa/BST/RuO2的介电特性由ε-V特性和I—V特性描述....; 关键词：BST薄膜射频溅射底电极结晶度介电特性

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