底电极

作品数：63被引量：54H指数：4
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FBAR滤波器的底电极图形化工艺研究
《电子与封装》2023年第5期85-88,共4页倪烨 任秀娟 段英丽 张智欣 陈长娥 于海洋 孟腾飞 
对薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器晶圆制造过程中的关键工艺——底电极图形化工艺进行了研究。通过优化光刻工艺中的焦面和曝光量,制作出了角度约为50°的胶图形;同时调整干法刻蚀设备的工艺参数,实现了角度为10.91°的底电极侧壁斜坡形...
关键词：FBAR滤波器 晶圆制造 图形化 斜坡形貌 
底电极原位退火与沉积温度对PZT薄膜性能影响研究被引量：1
《硅酸盐通报》2023年第2期743-750,760,共9页王兴 邹赫麟 
国家自然科学基金(51775088);山西省科技厅基础研究计划青年基金(202203021212017)。
采用磁控溅射工艺,在Pt/Ti底电极上沉积锆钛酸铅(PZT)薄膜,研究了原位退火温度与底电极沉积温度对溅射PZT薄膜结晶取向、微观结构、介电性能、铁电性能及疲劳性能的影响。X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析结果表明,随着电极沉...
关键词：Pt/Ti底电极 压电薄膜 原位退火 择优取向 介电性能 抗疲劳特性 
苏州纳米所制备出基于织物衬底的大面积发光器件
《纺织科学研究》2021年第5期7-7,共1页
据报道,中科院苏州纳米所博士袁伟联合浙江师范大学副教授孟秀清采用全印刷的方法在弹性织物上制作出了大尺寸、高机械强度的交流电致发光器件(ACEL),并验证了大尺寸ACEL器件在织物上卷对卷制备的可行性。在织物上制备ACEL器件的工艺流...
关键词：织物表面 丝网印刷 弹性织物 浙江师范大学 发光器件 导电银浆 热塑性聚氨酯弹性体 底电极 
底电极种类对BCZT薄膜储能性能的影响
《广西大学学报（自然科学版）》2019年第5期1422-1427,共6页何上恺 唐嗣麟 梁国闯 彭彪林 王宁章 
国家自然科学基金(51402196、51602159);广西自然科学基金(2016GXNSFCB380006、2017GXNSFFA198015);广西大学人才引进科研启动基金(Grant XTZ160530);“镍钴资源综合利用国家重点实验室”开放课题资助项目(金科冶2019-01)
拥有高的储能密度值和良好的温度稳定性的介电薄膜电容器在现代微电子系统中非常具有吸引力。为研究不同底电极对(Ba(0.904)Ca(0.096))(Zr(0.136)Ti(0.864))O3(BCZT)薄膜储能性能的影响,采用溶胶凝胶法制备了沉积在不同底电极上的BCZT...
关键词：BCZT 溶胶凝胶 薄膜 储能 热稳定性 
底电极材料的氧活性对阻变窗口的影响研究
《电子工程学院学报》2019年第8期150-150,共1页周歧刚 
电极材料的氧活性与其对应金属氧化物的标准摩尔生成吉布斯自由能有很大关系,吉布斯自由能越低,电极材料越容易与氧结合,电阻转变过程中的流动氧运动到底电极后就越难以回到阻变功能层,阻变功能层中的导电丝就越来越强壮,高态电阻就越...
关键词：阻变存储器 
新型Al/Mo底电极的顶发射有机发光二极管性能研究
《光电子技术》2014年第3期163-167,共5页杨建兵 杨斌 杨洪宝 刘忠安 曹允 樊卫华 王绪丰 
提出了一种新型底电极结构,使用铝钼双层薄膜作为顶发射有机发光二极管的底电极。同时分别从底电极结构、顶电极结构、空穴注入以及出射光谱等方面对器件性能进行分析和优化,最终得到的器件电流效率达到6Cd/A以上,比优化前的器件效率提...
关键词：铝钼电极 顶发射 有机发光二极管 
炼钢直流电弧炉底电极改造方案优化
《化学工程与装备》2014年第3期143-144,共2页战建军 钟如 
通过片状底电极对水冷钢棒式电极进行改造,完善电炉底电极系统,保障炼钢生产安全。本文针对改造后的问题提出优化,最终延长炉衬寿命,减少供电系统故障并提高生产效率。
关键词：电弧炉 底电极 改造 优化 效益 
改进碳纳米管电接触及粘贴性能的一体式冷阴极制作(英文)被引量：3
《光子学报》2013年第6期637-644,共8页李玉魁 王凤歌 刘兴辉 卢文科 曾凡光 
The National Natural Science Foundation of China(Nos.51072184,60976058,61274078);the Natural Science Research Project of Henan Province Education Department(No.2009B510019)
在阴极玻璃面板上研发了一种新型的一体式冷阴极.印刷的银浆被烧结后用于形成银底电极.制备了薄层底电极浆料,其中含有大量碳纳米管.将薄层底电极浆料印刷在银底电极表面,然后再将普通碳纳米管浆料制作在烘烤的薄层底电极浆料上.利用高...
关键词：冷阴极 银底电极 烧结 丝网印刷 场致发射 
可乐瓶底电极模的三维实体造型和加工在Mastercam X中的实现被引量：1
《宁波职业技术学院学报》2013年第3期96-98,共3页曹金龙 
采用Mastercam X一体化软件,以可乐瓶底电极模为例,研究了从造型设计、实体建模、编制工艺、虚拟制造、数控加工刀具轨迹仿真、代码生成,并将自动生成的数控程序传输给数控机床的全面解决方案。应用该软件缩短了模具的设计、改型、制造...
关键词：电极模 MASTERCAM X 造型 加工 
分段圆型碳纳米管阴极结构的三极FED制作被引量：2
《微纳电子技术》2013年第2期74-77,117,共5页李玉魁 李晓荃 曾凡光 
国家自然科学基金资助项目(51072184);河南省教育厅自然科学研究计划资助项目(2009B510019)
利用钠钙平板玻璃形成阴极板;结合丝网印刷技术在阴极板上制作了分段圆型碳纳米管阴极结构。烧结固化的银浆层用于分别构成矩形底电极和圆型底电极,其良好的导电性能确保阴极电势能够被顺利传导给碳纳米管。对矩形底电极采取了分段条形...
关键词：碳纳米管 场发射 阴极 银浆 丝网印刷 底电极 
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