国家部委预研基金(51302060203)

作品数：3被引量：15H指数：2
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无机缓冲层对柔性In_2O_3:SnO_2薄膜光电及耐弯曲性能影响的研究被引量：3
《光学学报》2010年第4期1205-1210,共6页李玉琼 喻志农 冷健 薛唯 夏樊 丁曌 
国家部委预研项目(51302060203)资助课题
在室温条件下采用离子辅助沉积技术在柔性衬底上依次制备无机缓冲层及In_2O_3:SnO_2(ITO)薄膜,重点研究了不同无机缓冲层对柔性ITO薄膜光电及耐弯曲性能的影响。研究发现SiO_2,TiO_2,Ta_2O_5和Al_2O_3无机缓冲层对ITO薄膜的方阻、光学...
关键词：柔性ITO薄膜 无机缓冲层 离子辅助沉积 光电特性 耐弯曲性能 
基片材料与沉积参数对薄膜应力的影响被引量：12
《光学学报》2010年第2期602-608,共7页李玉琼 喻志农 王华清 卢维强 薛唯 丁瞾 
国家部委预研项目(51302060203)资助课题
采用哈特曼-夏克传感器的薄膜应力在线测量仪测量了利用离子辅助电子束蒸发的Si O2,Ti O2,Ta2O5,Al2O3与ITO薄膜在不同厚度时的应力值,并深入研究了基片材料与沉积参数对Si O2,Ti O2薄膜应力的影响。研究结果表明,在成膜的初始阶段,薄...
关键词：薄膜光学 薄膜应力 哈特曼-夏克传感器 基片材料 沉积参数 离子辅助沉积 
SiO_2和TiO_2缓冲层对柔性ITO薄膜弯曲特性的影响被引量：1
《北京理工大学学报》2009年第8期699-703,共5页喻志农 夏樊 李玉琼 薛唯 赵志伟 
国家部委预研项目(51302060203)
讨论了柔性ITO薄膜在弯曲时导电能力失效的机理及影响因素.考察了SiO2和TiO2作为无机缓冲层的加入对于柔性ITO薄膜弯曲特性的影响.实验结果及分析表明,材料间的失配系数,结合力以及薄膜缺陷是影响ITO薄膜弯曲特性的主要因素.SiO2或TiO2...
关键词：柔性ITO 缓冲层 弯曲特性 
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