国家自然科学基金(50705088)

作品数：8被引量：48H指数：5
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相关作者：文东辉袁巨龙张克华周兆忠赵萍更多>>
相关机构：浙江工业大学金华职业技术学院浙江师范大学更多>>
相关期刊：《航空精密制造技术》《农业机械学报》《光学精密工程》《中国机械工程》更多>>
相关主题：蓝宝石衬底蓝宝石纳米压痕衬底材料半导体照明更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信理学一般工业技术更多>>
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单晶蓝宝石的摩擦化学机械抛光被引量：2
《上海交通大学学报》2016年第2期222-227,共6页李刚 文东辉 王扬渝 
国家科技支撑计划(2011BAK15B07);国家自然科学基金项目(50705088);教育部科学技术研究重点项目(210088);浙江省科技厅公益性技术应用研究计划项目(2013C31024)资助
为揭示抛光过程中SiO_2磨粒与蓝宝石的摩擦化学反应机理,结合摩擦化学理论和纳米压痕试验方法,采用有限元法模拟纳米压头压入与卸载后蓝宝石表面的应力分布情况.数值模拟结果表明：当SiO_2磨粒与蓝宝石的接触应力为5-15GPa时,发生固相...
关键词：蓝宝石衬底 摩擦化学抛光 纳米压入 有限元法 纳米压痕试验法 
单晶蓝宝石的延性研磨加工被引量：10
《光学精密工程》2012年第6期1316-1324,共9页戴欣平 赵萍 文东辉 
国家自然科学基金资助项目(No.50705088);教育部科学技术研究重点项目(No.210088);浙江省新世纪151人才工程资助项目(No.Z18102004)
为实现单晶蓝宝石的延性研磨加工,采用纳米压痕和划痕法测试并分析了单晶蓝宝石(0001)面的微纳力学特性,建立了单颗圆锥状磨粒的压入模型并计算了延性研磨加工的受力临界条件,分析了金刚石磨粒嵌入合成锡研磨盘表面的效果。对单晶蓝宝...
关键词：单晶蓝宝石 金刚石磨粒 延性研磨 纳米压痕法 纳米划痕法 
抛光液化学成分对钨化学机械抛光效果的影响研究被引量：2
《机械制造》2010年第12期88-91,共4页梅广益 张克华 文东辉 
国家自然科学基金资助项目(编号:50705088);国家重大科学研究计划课题(编号:2006CB932607);浙江省自然科学基金资助项目(编号:Y1091122)
化学机械抛光工艺(CMP)能够更好地满足光刻对平坦度的要求,因而被广泛应用于半导体制造工艺中。化学机械抛光液的不同成分将会直接影响到钨的抛光效果,从而影响到超大规模集成电路(ULSI)制备的成品率和可靠性。通过调配不同的氧化剂、...
关键词：钨 化学机械抛光 抛光效果 化学成分 
主动驱动条件下研磨轨迹均匀性的研究被引量：7
《农业机械学报》2010年第4期209-212,221,共5页盛继生 文东辉 计时鸣 
国家"973"重点基础研究发展计划资助项目(2006CB932607);国家自然科学基金资助项目(50705088);浙江省高校中青年学科带头人浙江工业大学重中之重人才和浙江工业大学机械电子工程重中之重开放基金资助项目(56310202037)
分析了主动驱动方式下平面研磨过程中工件的运动学特性,提出了研磨轨迹均匀性可以通过单位面积轨迹点的数量及其标准差来评价,理论分析了研磨盘和工件的转速比和偏心距对轨迹均匀性的影响。仿真表明,偏心距越小越有利于工件表面研磨轨...
关键词：平面研磨 主动驱动 均匀性 路径 
蓝宝石衬底的超光滑表面加工进展被引量：10
《航空精密制造技术》2009年第3期8-13,共6页周兆忠 袁巨龙 文东辉 
国家自然科学基金重点项目(50705088);浙江省自然科学基金项(Y106590)
回顾了(0001)面蓝宝石衬底在LED的重要作用及其磨粒加工方法的发展进程。归纳了磨粒加工在蓝宝石衬底的超光滑制备过程中的应用现状,分别对磨削、机械抛光、干式机械化学抛光、湿式机械化学和化学机械抛光在蓝宝石衬底中的应用进行了总...
关键词：蓝宝石衬底 超光滑表面 固态照明 发光二极体 
高亮度LED衬底材料研究被引量：9
《功能材料》2009年第5期709-712,716,共5页张克华 文东辉 袁巨龙 
国家自然基金资助项目(50705088)
衬底材料作为半导体照明产业技术发展的基石,是半导体照明产业的核心,具有举足轻重的地位,直接决定了LED芯片的制造路线。高亮度LED的半导体材料体系对衬底材料提出的要求比传统的LED更为严格。衬底材料表面的粗糙度、热膨胀系数、热传...
关键词：高亮度LED 半导体照明 衬底材料 
蓝宝石的纳米压痕试验与有限元仿真研究被引量：2
《航空精密制造技术》2009年第2期7-11,31,共6页张克华 文东辉 洪滔 袁巨龙 
国家自然科学基金重点项目(50535040);国家自然基金青年项目(50705088);浙江工业大学教育部重点实验室开放项目(56310202019)
在对蓝宝石进行纳米压痕试验的基础上,利用有限单元法建立了纳米压痕试验的数值模型,对蓝宝石的纳米压痕试验进行模拟、计算和分析,确定了蓝宝石表层的材料性能和力学特性。该模型可以研究在加工过程中,主要工艺参数对加工效果、加工效...
关键词：纳米压痕 有限元仿真 蓝宝石 精密研磨 
磨粒粒径对蓝宝石研磨均匀性影响的试验研究被引量：9
《中国机械工程》2008年第21期2549-2552,共4页周兆忠 文东辉 张克华 鲁聪达 袁巨龙 
国家自然科学基金资助重点项目(50535040);国家自然科学基金资助项目(50705088);浙江省自然科学基金资助项目(Y105610;Y106590)
通过蓝宝石衬底的单面研磨试验研究,分析了W14和W3.5的B4C磨粒研磨后蓝宝石表面的微观形貌和宏观形貌,W14的B4C磨粒加工后蓝宝石表面微观裂纹密集且交错分布,体现了以滚轧和挤压为主的材料脆性去除作用,相同条件下,W3.5的B4C磨粒加工的...
关键词：磨粒粒径 研磨均匀性 微裂纹 延性切削 
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