精密研磨

作品数：95被引量：176H指数：7
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高效半导体硅片精密研磨工艺优化研究
《中文科技期刊数据库（文摘版）工程技术》2024年第12期258-261,共4页谢东元 
随着我国新能源汽车、轨道交通及航空航天等行业的迅猛发展,对高端电子元器件的性能及市场需求日益增长。随着集成电路产业的飞速发展以及对高性能的需求,集成电路中的关键支撑材料如单晶硅、碳化硅、氮化镓等,均对其加工精度和表面质...
关键词：半导体 硅片 精密研磨 工艺 
基于V形槽磨损状态预测的精研参数多目标优化
《精密成形工程》2024年第12期253-263,共11页房丽雄 杨方燕 朱伏平 房锐 
西南科技大学博士基金(19zx7164)。
目的预测精研过程中V形槽的磨损,并联合多目标求解出不同状态下的最佳工艺参数,提高精研质量。方法以直径3.175 mm的440C轴承钢球为研究对象,基于磨损指标转换结果采集工况数据,建立BPNN磨损状态预测模型,通过BBD试验拟合精研质量指标...
关键词：轴承钢球 精密研磨 磨损状态预测 工艺参数优化 多目标粒子群(MOPSO) 
基于低粗糙度酸腐蚀片制备的精密研磨工艺研究
《电子工业专用设备》2024年第3期16-19,共4页王玉臣 
讨论了精密研磨工艺对低粗糙度酸腐蚀片的影响,提出了采用细砂精密研磨的方式,并相应研究了精密研磨去除量、助磨剂加入量等参数对低粗糙度酸腐蚀片加工的影响。采用小粒径白刚玉研磨硅片可有效降低硅片的表面粗糙度,增加细砂研磨时助...
关键词：硅片 研磨 低粗糙度 
不同造孔剂树脂金刚石砂轮对硬质合金球阀的精密研磨
《金刚石与磨料磨具工程》2024年第2期199-205,共7页朱延鑫 赵峰 
为改善硬质合金球阀的加工效果,在树脂金刚石砂轮中引入造孔剂,对其力学性能、微观形貌及磨削性能进行分析,研究空心玻璃球和塑料球造孔剂对树脂金刚石砂轮性能的影响。结果表明:随着造孔剂体积分数增加,树脂砂轮的抗折强度逐渐下降,且...
关键词：硬质合金球阀 造孔剂 磨削性能 精密磨削 树脂金刚石砂轮 
一种伺服电机转轴外球面精密研磨抛光工艺研究被引量：1
《微电机》2023年第12期67-70,共4页王会玲 冯华 何文静 康小丽 刘军丽 李煜 
球面精密研磨抛光是在其他金属切削加工未能满足工件精度和表面积粗糙度要求时采用的一种精密加工工艺,对于球面的配合间隙必须长期保持不变,需要获得很高的尺寸精确度,要求零件间球面配合接触部位有较高的密封性、贴合性等,均需在研磨...
关键词：研磨剂 手工研磨 研磨原理 研磨方法 
宇环数控11项新产品通过省级新产品(新技术)鉴定验收与成果评价
《世界制造技术与装备市场》2023年第6期80-80,共1页
11月28-29日,宇环数控集团11款新产品顺利通过了省级新产品(新技术)鉴定验收与成果评价。宇环数控机床股份有限公司与湖南大学共同研发的“YHMGK1720精密数控多功能外圆磨床”、“YHDM580H精密数控立式双端面磨床”、“YH2M84120高速双...
关键词：外圆磨床 双端面磨床 磨削技术 鉴定验收 双磨头 打磨机 国际领先技术 精密研磨 
热场辅助单晶蓝宝石晶圆精研加工性能被引量：1
《金刚石与磨料磨具工程》2023年第5期649-656,共8页许永超 孙家宝 詹浩 傅滨杰 詹友基 郑天清 
国家自然科学基金面上项目(52275413,51775113);福建省引导性计划项目(2022H0024);福建省财政厅科技一般项目(GY-Z21006);福建省对外合作项目(2021I0022)。
针对传统蓝宝石晶圆精磨加工表面质量差、效率低下的难题,提出热场辅助蓝宝石晶圆加工技术,研究热场辅助对蓝宝石晶圆精研加工性能的影响。通过自行设计的热场辅助装置控制加工区温度,基于半固结柔性磨具,在不同加工区温度条件下对蓝宝...
关键词：蓝宝石晶圆 热场辅助 精密研磨 表面粗糙度 去除机理 
智能制造在硬盘磁头精密研磨中的应用研究被引量：4
《制造业自动化》2023年第7期97-99,共3页赵伟 李国伟 王汉德 张建 芦有亮 
随着企业对产品在大量生产过程中的高生产效率、低生产成本和高产品质量的需求的不断增长,智能制造被越来越广泛地应用于产品生产的各个环节。创造性地将智能机器的智能感知、智能处理、智能决策、智能执行和人类专家构成的智能制造系...
关键词：硬盘磁头 研磨 智能制造 技术创新 
蓝宝石超精密研磨工艺决策支持系统的研发
《机械制造与自动化》2022年第4期23-26,共4页何勇 万林林 
湖南省教育厅科学研究重点项目(19A163)。
针对工艺方案决策领域存在指标赋权不合理、决策精度不高的问题,以蓝宝石超精密研磨工艺为研究对象,设计了一种可由主客观综合赋权的工艺方案多属性决策方法,开发蓝宝石超精密研磨工艺决策支持系统,包括基础数据库模块以及工艺方案多属...
关键词：蓝宝石 研磨 工艺 多属性决策 决策支持系统 
电磁阀导磁套盲孔精密研磨技术研究被引量：1
《新技术新工艺》2021年第5期70-73,共4页董娟 李峰 
导磁套是组成电磁阀的核心零件,其加工质量直接影响电磁阀阀芯的运动灵活性和工作可靠性。导磁套为多个零件焊接盲孔结构,半精加工后进行磁性能高温退火热处理,热处理后进行零件内孔精加工。采用精镗加工的盲孔表面粗糙度不满足要求,内...
关键词：电磁阀 导磁套 盲孔 研磨 
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