国家高技术研究发展计划(2003AA311122)

作品数：6被引量：10H指数：2
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相关作者：陈弟虎朱道云何振辉郑昌喜王明东更多>>
相关机构：中山大学广东工业大学深圳大学更多>>
相关期刊：《人工晶体学报》《功能材料》《真空科学与技术学报》《华中科技大学学报（自然科学版）》更多>>
相关主题：电弧离子镀ZNO薄膜等离子体显示板脉冲偏压X射线衍射更多>>
相关领域：一般工业技术理学更多>>
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脉冲偏压作用下MgO薄膜表面的荷电效应被引量：1
《真空科学与技术学报》2012年第1期48-52,共5页朱道云 郑昌喜 王明东 陈弟虎 何振辉 闻立时 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2003AA311122)
采用脉冲偏压电弧离子沉积技术在玻璃基片上制备了透明的、具有择优取向的MgO薄膜。针对绝缘性薄膜表面的荷电效应,比较了脉冲偏压作用下鞘层对离子的加速时间（即鞘层的寿命）与脉冲宽度的大小以及偏压鞘层的初始厚度与离子穿越的距离...
关键词：脉冲偏压 电弧离子 荷电效应 MgO薄膜 
沉积气压对电弧离子镀制备MgO薄膜的结构及性能的影响被引量：2
《功能材料》2011年第7期1316-1319,共4页朱道云 郑昌喜 王明东 陈弟虎 何振辉 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2003AA311122);广东工业大学博士启动资助项目(083025)
采用阴极真空电弧离子沉积技术在玻璃及Si衬底上成功地制备了具有择优结晶取向的透明MgO薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)及紫外-可见吸收光谱仪分别对MgO薄膜微观结构、表面形貌及可见光透过率进行了测试与分析。XRD...
关键词：阴极真空电弧离子沉积 沉积气压 MgO薄膜 等离子体显示板 
退火对电弧离子镀制备的ZnO薄膜的影响
《人工晶体学报》2008年第1期156-161,共6页王明东 郑婷 朱道云 何振辉 陈弟虎 闻立时 
国家"863"资助项目(No.2003AA311122)
采用阴极电弧离子镀在Si、Al2O3以及玻璃衬底上制备出具有择优取向的ZnO薄膜,并对其进行退火处理。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、光致发光光谱(PL)、紫外-可见光光谱仪对ZnO薄膜的结构、表面形貌和光学性能进行分析。XR...
关键词：阴极电弧离子沉积 ZNO薄膜 退火 
沉积气压对电弧离子镀制备ZnO薄膜的结构和性能影响被引量：5
《功能材料》2007年第6期1013-1015,共3页王明东 朱道云 郑昌喜 何振辉 陈弟虎 闻立时 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2003AA311122)
采用阴极真空电弧离子镀技术在玻璃衬底上制备出了具有择优取向的透明ZnO薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜及紫外一可见吸收光谱仪分别对ZnO薄膜的结构、表面形貌及可见光透过率进行了分析。XRD结果表明，所制备的ZnO薄膜具有六...
关键词：真空电弧离子镀 X射线衍射 ZNO薄膜 
脉冲偏压占空比对MgO薄膜成分及结构的影响被引量：1
《华中科技大学学报（自然科学版）》2007年第3期5-7,59,共4页朱道云 郑昌喜 陈弟虎 何振辉 
国家高技术研究发展计划资助项目(2003AA311122)
采用阴极真空电弧离子沉积技术在玻璃衬底上制备出了具有择优取向的透明MgO薄膜．利用卢瑟福背散射谱、X射线衍射仪、扫描电子显微镜及紫外-可见吸收光谱仪分别对MgO薄膜的成分、结构、表面形貌及可见光透过率进行了分析．结果表明：Mg...
关键词：阴极真空电弧离子沉积 占空比 MgO薄膜 等离子体显示板(PDP) 
阴极真空电弧沉积MgO薄膜的椭偏光谱研究被引量：1
《中山大学学报（自然科学版）》2007年第1期26-30,共5页刘毅 林晓东 朱道云 陈弟虎 何振辉 
国家"863"科技计划资助项目(2003AA311122);深圳大学科研启动基金资助项目(200533)
采用阴极真空电弧离子沉积技术在硅基片上制备出了MgO薄膜。利用椭圆偏振光谱、原子力显微镜及扫描电子显微镜分别对不同氧流量下制备的MgO薄膜的厚度,光学常数,表面粗糙度及表面形貌进行了分析,并对椭圆偏振光谱的光学粗糙度结果和原...
关键词：阴极真空电弧离子沉积 MgO薄膜 椭圆偏振光谱 表面粗糙度 
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