国家科技支撑计划(2006BAF06B06)

作品数:11被引量:30H指数:3
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相关机构:中国计量科学研究院清华大学天津大学北京化工大学更多>>
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硅球密度绝对测量被引量:3
《科学通报》2012年第15期1281-1289,共9页罗志勇 赵克功 张继涛 陈赤 
国家科技支撑计划(2006BAF06B06)资助
单晶硅球密度的绝对测量是阿伏加德罗常数测量的关键技术,是目前国际热点研究领域.本文综述了包括我国在内的国际单晶硅球密度测量的最新进展,涉及硅球密度测量的技术原理、测量领域、影响因素、测量装置及最佳测量能力等,分析了硅球密...
关键词:阿伏加德罗常数 硅球密度 相移干涉法 氧化层厚度 精密测量 
A new route for length measurement by phase-shifting interferometry被引量:3
《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》2012年第4期599-604,共6页LUO ZhiYong LI ZhangHong 
supported by the National Key Technology R&D Program of China (Grant No. 2006BAF06B06)
By the mathematic models of flexible hinge,the accurate relationship between the phase-shifting and pressure acting on the hinge is deduced and verified by experimental results.Through the optimization of the geometri...
关键词:phase-shifting interferometry flexible hinge mathematics model piezoelectricity transducer ETALON 
阿伏加德罗常数测量研究最新进展被引量:2
《计量学报》2012年第1期39-42,共4页张继涛 罗志勇 赵克功 
基金项目:十一五国家科技支撑计划(2006BAF06B06)
综述了阿伏加德罗常数(NA)测量研究的最新进展。介绍了目前测NA准确度较高的方法-x射线晶体密度法,该方法通过测量单晶硅的摩尔质量、宏观密度和晶格常数得到NA。采用x射线晶体密度法有望实现NA相对测量不确定度达到2×10^-8。分析...
关键词:计量学 阿伏加德罗常数 硅球 摩尔质量 直径 氧化层 
气体同位素比值质谱法测定硅同位素丰度比的样品制备方法研究
《计量学报》2011年第5期474-477,共4页李红 易洪 张敬畅 易未 
国家科技部科技支撑计划项目(2006BAF06B06)
介绍了气体同位素比值质谱法测定硅同位素丰度比的样品制备方法。采用碱溶法溶解单晶硅样品,经阳离子交换反应、烘干焙烧制得二氧化硅,再用氢氟酸溶解二氧化硅得到氟硅酸溶液,进一步滴加氯化钡溶液生成氟硅酸钡沉淀,将氟硅酸钡热分...
关键词:计量学 硅同位素丰度比 气体同位素比值质谱仪 单晶硅 摩尔质量 
阿伏加德罗常数测量与千克重新定义被引量:11
《科学通报》2011年第10期717-724,共8页李岩 张继涛 罗志勇 
国家科技支撑计划(2006BAF06B06);清华大学自主科研计划(2009THZ06057)资助项目
阿伏加德罗常数(NA)是一个联系微观尺度和宏观尺度的基本物理常数,它的精确测量可用于重新定义国际基本单位千克和摩尔,因而有助于推动国际单位制的发展.现代NA测量方法为X射线晶体密度法,它以单晶硅为材料,通过测量其摩尔质量、宏观密...
关键词:计量学 阿伏加德罗常数 X射线晶体密度法 单晶硅球 千克 重新定义 
标准硅球直径测量中的光路对准
《光电工程》2010年第2期74-79,共6页康岩辉 邾继贵 罗志勇 叶声华 
国家科技支撑计划资助项目(2006BAF06B06)
针对标准单晶硅球直径精密测量的需要,本文在介绍标准硅球直径测量系统原理并分析其光路特点的基础上,根据建立的数学模型,对激光束斜入射标准板时产生的椭圆干涉图像进行了分析,并对不同入射角度时干涉环中心点带来的直径测量误差进行...
关键词:光学测量 直径测量 干涉环 椭圆度 激光光束对准 
一种可溯源的光谱椭偏仪标定方法被引量:10
《物理学报》2010年第1期186-191,共6页张继涛 李岩 罗志勇 
国家科技支撑计划(批准号:2006BAF06B06)资助的课题~~
提出了一种用X射线反射术标定光谱椭偏仪的方法.作为一种间接测量方法,光谱椭偏术测得的薄膜厚度依赖于其光学常数,不具有可溯源性.在掠入射条件下,X射线反射术能测得薄膜的物理厚度,测量结果具有亚纳米量级的精密度且与薄膜光学常数无...
关键词:光谱椭偏术 X射线反射术 膜厚 标定 
高精度标准单晶硅球直径测量系统的研究被引量:1
《传感技术学报》2009年第10期1392-1395,共4页康岩辉 邾继贵 罗志勇 叶声华 
国家科技支撑计划资助课题(2006BAF06B06)
为建立我国高准确度固体密度基准和质量自然基准,对高精度标准单晶硅球直径测量系统进行了研究。论述了平面波前激光干涉法测量直径的原理和方法,分析了相移扫描、温度测量控制、以及硅球体积计算等系统的关键组成部分,并给出了各部分...
关键词:光学测量 直径测量 硅球 相移扫描 
高斯光束对标准硅球直径测量的影响分析被引量:3
《光学学报》2008年第11期2148-2152,共5页康岩辉 邾继贵 罗志勇 叶声华 
国家科技支撑计划(2006BAF06B06)资助课题
针对高精度硅球直径测量系统的特点,分析平面波反射光的多光束干涉和双光束干涉,以及正入射时高斯光束反射光中心的多光束干涉和双光束干涉,对不同条件下的高斯光束反射光中心的干涉光强进行了数值模拟。对采用五步相移算法时高斯多光...
关键词:光学测量 硅球直径测量 高斯光束 多光束干涉 
标准硅球直径精密测量中光束对准误差分析
《红外与激光工程》2008年第S1期43-46,共4页康岩辉 邾继贵 杨凌辉 罗志勇 叶声华 
国家科技支撑计划(2006BAF06B06)
单晶硅球直径的准确测量是阿伏加德罗常数测量中一项重要内容,并决定着最终的测量不确定度。针对高精度硅球直径测量系统双光路的特点,在不考虑图像圆心提取误差的情况下,运用几何关系推导,分别就平行光束垂直于标准板和以一定角度斜入...
关键词:光学测量 硅球直径测量 光束对准误差 
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