氧化层厚度

作品数:70被引量:92H指数:5
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相关机构:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司中国科学院微电子研究所清华大学北京大学更多>>
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Hi-B钢脱碳板氧化层厚度对底层的影响
《电工钢》2024年第4期17-21,共5页庞树芳 游清雷 蒋奇武 贾志伟 罗理 
采用Thermo-Calc软件模拟取向硅钢脱碳退火板的氧化过程,分析不同p_(H_(2)O)/p_(H_(2))值可以生成的氧化物,发现800℃脱碳退火时p_(H_(2)O)/p_(H_(2))值的范围在0.19~23时,脱碳氧化生成物是FeO和Fe_(2)SiO_(4)。采用辉光光谱仪分析三种...
关键词:氧化层 氧含量硅酸镁底层 
粉末冶金制备22Cr-ODS合金的高温氧化行为研究
《电焊机》2024年第4期29-35,共7页商鑫亭 董浩 周双双 刘少尊 闫英杰 曹睿 
国家自然科学基金(51961024,52071170,52175325);甘肃省教育厅“双一流”科研重点项目(CSSYLXM-03)。
采用粉末冶金热等静压工艺制备了氧化物弥散强化FeCrAl合金,探究在1000℃空气环境中合金的高温氧化行为。通过X射线衍射、扫描电子显微镜等对合金在1000℃氧化不同时间后的氧化层表面成分、物相及截面成分、厚度等进行研究,结果表明:该...
关键词:粉末冶金 22Cr-ODS合金 高温氧化 氧化层厚度 组织稳定性 
高压VDMOSFETRon最佳化比例设计研究
《中国设备工程》2023年第24期133-135,共3页英秀 
正文以正方形单胞为例,较系统地分析了VDMOSFET的特征导通电阻Ron与结构参数之间的关系。重点讨论了N沟道VDMOSFET的P^(-)体扩散区结构Xjp^(-)和栅氧化物厚度Tox对器件特性导通电阻Ron的影响,给出了多晶硅窗口区尺寸Lw和多晶区尺寸Lp的...
关键词:VDMOSFET 单胞 特征导通电阻 结深 氧化层厚度 
SiC颗粒的氧化行为研究被引量:1
《粉末冶金工业》2023年第2期84-87,108,共5页王慧芳 姜威 郝世明 张杰 
山西省基础研究计划自由探索类面上项目(20210302123427);山西省留学回国人员科技活动择优资助项目(20220038);河南省科技攻关项目(222102230088)。
研究了SiC颗粒在氧化温度分别为1000、1100、1200和1300℃、保温时间分别为2、4、6和8 h的氧化行为,采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究了SiC颗粒氧化前后的形貌和物相变化,根据质量守恒推导了氧化层(SiO_(2))厚度的计算公式。研究结...
关键词:SIC 氧化行为 氧化温度 氧化时间 氧化层厚度 
基于聚焦离子束的微米铝粉界面结构制备和氧化特性研究
《含能材料》2021年第10期904-913,共10页王敬凯 陈捷 刘帅 睢贺良 索志荣 银颖 
为直观地研究金属铝核/氧化层的界面结构,以聚焦离子束微纳加工技术为基础,成功建立了2~8μm铝粉颗粒的切片方法。对于尺寸2~8μm的铝粉颗粒,可通过结合聚焦离子束(FIB)直接切割与剖面减薄获得切片。所制备的切片样品的界面结构清晰完整...
关键词:聚焦离子束(FIB) 微纳加工技术 高分辨透射电镜 梯度分布 氧化层厚度 微末铝粉 
基底的晶向和氧化层厚度对坡莫合金薄膜的影响
《真空科学与技术学报》2021年第10期941-945,共5页冯润东 张文伟 
瞬态光学与光子技术国家重点实验室(中国科学院西安光学精密机械研究所)开放课题基金(Y92B301)。
利用磁控溅射的方法,在不同规格的硅片上制备相同的NiFe薄膜,主要研究不同晶向的硅片对薄膜磁阻率的影响,以及(100)晶向硅片不同氧化层厚度对薄膜的影响。通过测试磁阻率、方阻,再综合X射线衍射分析,得到以下结论:由于(111)晶向基底与N...
关键词:各向异性磁电阻 NiFe薄膜 基底 磁控溅射 X射线衍射 
科学家发现可以自发改变颜色的金属材料
《特种铸造及有色合金》2021年第7期813-813,共1页
颜色是商品外观设计的重要属性。彩色的电子产品金属外壳不仅满足了人们的审美需求,也增加了商品的附加价值。电化学沉积是目前广泛应用的金属表面着色技术,其颜色来自于由表面氧化层厚度决定的可见光干涉。由于该氧化层的厚度在产品的...
关键词:金属材料 氧化层厚度 电化学沉积 着色技术 电子产品 金属外壳 附加价值 重要属性 
研究发现可以自发改变颜色的金属材料
《河南化工》2021年第6期48-48,共1页
颜色是商品外观设计的重要属性。彩色的电子产品金属外壳不仅满足了人们的审美需求,也增加了商品的附加价值。电化学沉积是目前广泛应用的金属合金表面着色技术,其颜色来自于由表面氧化层厚度决定的可见光干涉。由于该氧化层的厚度在产...
关键词:表面着色 金属材料 金属合金 氧化层厚度 电化学沉积 电子产品 金属外壳 附加价值 
氮化物应力膜SOI SiGe异质结双极晶体管的频率特性研究
《重庆理工大学学报(自然科学)》2021年第5期163-169,共7页刘培培 文剑豪 魏进希 王冠宇 周春宇 
国家自然科学基金项目(61704147);河北省教育厅科学基金项目(QN2017150)。
为了提高器件的频率特性,设计了一种表面覆盖氮化物(Si_(3)N_(4))应力膜的应变硅SOI SiGe异质结双极晶体管结构,通过在器件结构的最上层淀积一层Si_(3)N_(4),使其在基区引入单轴压应力,增强载流子的迁移率,来提高器件的截止频率f_(T)和...
关键词:单轴应变 SOI SiGe HBT 埋氧化层厚度 频率特性 
热处理工艺对22MnB5钢铝硅镀层氧化层厚度和组织演变的影响被引量:5
《表面技术》2020年第4期245-253,共9页谢昀映 成毅 吴广新 
国家自然科学基金资助项目(51674163);上海市科委自然科学基金资助项目(16ZR1412000)。
目的探究奥氏体化工艺对铝硅镀层氧化层厚度和微观组织的影响规律及其演变机理。方法以热浸镀Al-10%Si的22MnB5为研究对象,采用扫描电子显微镜(SEM)、辉光放电光谱仪(GD-OES)和X射线衍射仪(XRD)等仪器,观察镀层在奥氏体化过程中氧化层...
关键词:Al-Si镀层 奥氏体化 金属间化合物 氧化层 组织演变 
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