国家科技支撑计划(2006BAK03A02)

作品数：8被引量：32H指数：3
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相关作者：巴音贺希格齐向东唐玉国李文昊于宏柱更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院中国科学技术大学中国科学院更多>>
相关期刊：《湖南大学学报（自然科学版）》《光谱学与光谱分析》《物理学报》《计算机工程》更多>>
相关主题：像差衍射光栅光栅刻划机宽波段像散更多>>
相关领域：机械工程理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
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光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究被引量：1
《湖南大学学报（自然科学版）》2014年第3期43-48,共6页申远 王俊杰 竺长安 齐向东 
'十一五'国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(WK2090090010);安徽省自然科学基金资助项目(1308085QE92);合肥师范学院人才基金资助项目(2013RCJJ04)
针对大面积衍射光栅刻划机在宏观尺度下进行微纳加工的工作特点以及纳米级刻线检测困难的问题,提出了一种光机电集成优化方法.此方法采用计算傅里叶光学和弦振动理论进行光栅刻线误差分析,结合振动实验及光学测量进行验证,最后采用智能...
关键词：光栅刻划机 光机电集成优化 计算傅里叶光学 智能优化 
全息光栅曝光系统中空间滤波器孔径与激光束腰关系的选择方法被引量：3
《物理学报》2012年第8期176-182,共7页韩建 巴音贺希格 李文昊 
国家自然科学基金(批准号:60478034);国家科技支撑计划(批准号:2006BAK03A02);吉林省科技发展计划(批准号:20070523.20086013)资助的课题~~
在全息光栅制作过程中,由空气悬浮颗粒及光学器件缺陷引起的散射光会被记录在光刻胶上,既影响光栅衍射效率,又会带来光栅杂散光.为消除系统散射光,需要对激光光束的高频成分进行滤波处理.但是,激光光束通过空间滤波器后发生衍射,进而影...
关键词：全息光栅 空间滤波器 衍射效应 相位突变 
光栅刻划机的建模与仿真方法研究被引量：3
《计算机工程》2012年第4期31-34,共4页刘栋材 李端发 练国富 申远 竺长安 
国家"十一五"科技支撑计划基金资助重大项目(2006BAK03A02);国家重大科研装备研制基金资助项目(ZBYZ2008-1);中国科学院重大科研装备研制基金资助项目(YZ200804)
用于制作母光栅的光栅刻划机的性能指标直接决定最终生产的光栅质量。为此,采用基于虚拟样机的联合仿真策略,代替传统的物理样机开发。利用动力学分析软件Pro/Engineer和控制仿真软件Simulink分别建立光栅刻划机机械动力学模型及控制系...
关键词：光栅刻划机 虚拟样机 联合仿真 交互式仿真 
Czerny-Turner正交型光栅单色仪的波长校准被引量：2
《光谱学与光谱分析》2012年第4期1127-1131,共5页寇婕婷 巴音贺希格 唐玉国 齐向东 于宏柱 
国家"十一五"科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);中国科学院重大科研装备研制项目(YZ200804);吉林省科技发展计划项目(20070523;20086013);吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)资助
研究了Czerny-Turner正交型光栅单色仪的波长校准技术。结合单色仪的结构参数和特点,提出以符合光栅方程的正弦曲线作为仪器出射波长的校准方程,基于最小二乘法原理给出校准方程的拟合残差表达式,由于校准方程的非线性,应用二维Nelder-M...
关键词：光栅单色仪 Czerny-Turner结构 波长校准 Nelder-Mead单纯形法 
平面光栅双单色仪的光学系统设计被引量：6
《光谱学与光谱分析》2012年第3期830-833,共4页寇婕婷 巴音贺希格 唐玉国 齐向东 于宏柱 
国家"十一五"科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);中国科学院重大科研装备研制项目(YZ200804);吉林省科技发展计划项目(20070523;20086013);吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)资助
平面光栅双单色仪是构成光栅衍射效率测试仪的重要组成部分,为了完成光栅衍射效率测试仪的研制,需要对平面光栅双单色仪的光学系统进行设计和模拟。仪器主要由光源、前置单色仪、测量单色仪和探测器组成;结合仪器的实际使用需要,确定了...
关键词：平面光栅 双单色仪 光学设计 结果分析 
零像散宽波段平场全息凹面光栅的优化设计被引量：9
《光谱学与光谱分析》2012年第2期565-569,共5页孔鹏 唐玉国 巴音贺希格 李文昊 崔锦江 
国家自然科学基金项目(60478034);国家"十一五"科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);吉林省科技发展计划项目(20070523;20086013)资助
平场全息凹面光栅的理想像面应为一平面,此时子午焦线与弧矢焦线均位于像面内且彼此重合,形成接近理想像点的光谱像。但子午焦线总是存在弯曲,只有弧矢焦线在满足一定条件的情况下可以成为直线。鉴于此,提出一种满足平场弧矢焦线条件的...
关键词：衍射光栅 全息凹面光栅 平场 像差 弧矢焦线 子午焦线 
一步法设计单色仪凹面全息光栅被引量：3
《光谱学与光谱分析》2011年第9期2586-2589,共4页曾瑾 巴音贺希格 李文昊 张金平 
国家自然科学基金项目(60478034);国家“十一五”科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);吉林省科技发展计划项目(20070523,20086013)资助
凹面全息光栅是光谱分析仪器的核心器件之一,其成像质量直接决定了光谱分析仪器的分辨本领。利用光程函数理论设计凹面全息光栅是一个繁琐的求解非线性方程组的过程,该过程分两步进行,每步需要求解四个非线性方程。分两步求解不但过程麻...
关键词：衍射光栅 凹面全息光栅 单色仪 消像差 遗传算法 
平面反射光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析被引量：6
《光谱学与光谱分析》2009年第2期556-560,共5页王芳 齐向东 于宏柱 于海利 
国家“十一五”科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02)资助
设计了一种快速自动测试平面反射光栅相对衍射效率的新型系统。它采用连续光源照明,运用双联光栅光谱仪的结构型式,以N沟道增强型场效应管阵列（线阵NMOS）作为光电接收器件。运用光栅光谱仪的相关原理,对系统的测试原理进行了理论分析...
关键词：平面反射光栅 相对衍射效率 光栅光谱仪 线阵NMOS 像差 
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