国家自然科学基金(51075195)

作品数：10被引量：10H指数：2
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硅片边缘超声振动抛光实验装置的研究被引量：2
《机械设计与制造》2015年第2期126-128,共3页何勍 郑美超 
国家自然基金资助(51075195)
研制一种新型硅片边缘超声振动抛光装置,利用抛光振子超声振动所产生的能量对硅片边缘倒角斜面进行抛光加工,以达到提高硅片边缘表面质量的目的。抛光振子的工作面与硅片一侧的整个倒角斜面完全接触,并且能够实现不同工艺条件下的抛光...
关键词：硅片边缘 超声振动 行波 抛光振子 化学机械抛光 
充液对压电振子超声振动频率的影响研究
《机械设计与制造》2015年第2期49-51,共3页张玉成 何勍 郑美超 
国家自然基金资助(51075195)
振子在不同边界条件下模态将有较大的变化,利用ANSYS有限元模拟,对空心振子充液前后进行了对比模拟,并进行了振子的实际测试实验,探究了充液对空心振子超声振动模态频率的影响。有限元模拟分析及振子实际测试表明,空心振子在充液后,同...
关键词：充液 压电 空心振子 超声振动 模态分析 
应用圆筒形行波压电振子的流体抛光实验研究
《辽宁工业大学学报（自然科学版）》2014年第5期306-309,共4页何勍 徐建立 
国家自然科学基金项目(51075195)
应用圆筒形行波压电振子设计了流体振动抛光装置。选取压电振子第十阶弯曲模态作为硅片抛光实验的工作模态,利用化学机械抛光浆料作为抛光液体,对不同表面形貌的硅片进行了抛光实验。实验结果表明硅片表面粗糙度得到改善。该方法也说明...
关键词：圆筒形压电振子 流体 硅片 化学机械抛光 
硅片的超声流体喷射抛光实验研究被引量：4
《机械设计与制造》2014年第9期129-131,共3页何勍 高萍 
国家自然基金项目资助(51075195)
基于兆赫级压电振子驱动提出,一种新的流体喷射抛光方法,利用Z4120台式钻床搭建了流体喷射超声抛光实验装置,以2吋硅片为喷射抛光对象,通过实验验证了该抛光方法对硅片的精密化学机械抛光的实际效果。实验结果表明,在相同的实验工况下,...
关键词：超声振动 化学机械抛光 硅片 喷射 压电振子 
圆筒形压电振子及其流体转速特性实验研究
《机械设计与制造》2014年第6期103-104,108,共3页何勍 徐建立 
国家自然基金项目资助(51075195)
针对流体振动抛光方法,设计并制作了一种圆筒形压电振子。振子能够实现6阶和10阶两种面内弯曲工作模态,谐振频率分别为38400Hz、93200Hz。通过合适的激励,能够形成圆筒振子内表面质点的行波运动。实验研究了圆筒芯的直径、液面高度以及...
关键词：圆筒形压电振子 超声振动 液体 转速 
盘形超声压电振子的抛光实验研究
《辽宁工业大学学报（自然科学版）》2013年第6期400-402,共3页何勍 徐俊艳 刘政 
国家自然基金项目资助(51075195)
应用盘形超声压电振子在抛光实验装置上对硅片进行了化学机械抛光,比较了附加行波超声振动的化学机械抛光与传统化学机械抛光的实际效果,实验结果表明,在相同的实验工况下,施加行波超声振动相对于不施加振动,能明显改善硅片化学机械抛...
关键词：盘形压电振子 行波 超声振动 硅片 化学机械抛光 
行波超声振动抛光实验装置的研究被引量：1
《振动．测试与诊断》2013年第S2期25-28,215,共5页徐俊艳 陈晔 刘政 何勍 
国家自然科学基金资助项目(51075195)
为研究环形行波压电振子的硅片超声复合抛光工艺,改装现有钻床,研制出一种可控转速的超声抛光实验装置,该装置主轴的转速通过变频器可在0～3 150r/min范围内调节,从而实现不同线速度的抛光需求。实验装置将USR30超声电机振子改造为具有...
关键词：环形压电振子 行波 超声振动 化学机械抛光 硅片 
液体对圆筒形压电振子振动的影响被引量：1
《振动．测试与诊断》2013年第S2期68-71,219,共5页徐建立 刘政 何勍 
国家自然科学基金资助项目(51075195)
针对流体振动抛光方法,设计并制作了一种圆筒形压电振子,利用ANSYS有限元软件确定了振子的结构尺寸、工作模态和固有频率。该振子外径为62mm,高度为15mm,能够实现B0,6和B0,10两种面内弯曲工作模态,实验测得振子在B0,6和B0,10工作模态下...
关键词：圆筒形压电振子 超声振动 行波 抛光液 
圆锥型压电换能器的动态设计与实验研究被引量：2
《机械设计与制造》2012年第3期6-8,共3页王宏祥 白洋 胡静 何勍 
国家自然基金资助项目(51075195)
对一种圆锥型夹心式压电换能器进行了动态设计与实验分析。利用有限元分析方法对换能器进行了动态设计,给出了该类压电换能器有限元建模方法,分析了换能器主要结构尺寸对振动模态、固有频率的影响。依据有限元分析结果,提出了一种基于...
关键词：换能器 有限元 模态分析 压电 
含齿环形振子的振型一致性分析被引量：1
《辽宁工业大学学报（自然科学版）》2011年第2期132-134,共3页李英华 何勍 
国家自然基金项目资助(51075195)
基于有限元数值分析方法,对环形压电振子的面外弯曲模态进行了模拟,研究了振子齿数对弯曲模态一致性的影响。数值结果表明,当齿数为模态阶次的整数倍时,振子具有理想的振型一致性。
关键词：压电振子 齿数 模态分析 
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