河北省教育厅科研基金(Z2007222)

作品数：5被引量：10H指数：2
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相关期刊：《强激光与粒子束》《河北大学学报（自然科学版）》《中国激光》更多>>
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外加气流对脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒尺寸分布的影响被引量：2
《强激光与粒子束》2010年第9期2199-2202,共4页王英龙 罗青山 邓泽超 褚立志 丁学成 梁伟华 陈超 傅广生 
国家自然科学基金项目(10774036);河北省自然科学基金项目(E2008000631);河北省教育厅基金项目(Z2007222);河北大学自然科学基金项目(Y2007100)
提出一种控制脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒尺寸分布的新方法。在10Pa的Ar环境中,采用脉冲激光烧蚀高阻抗单晶硅靶沉积制备了纳米Si晶薄膜。在羽辉正上方2.0cm,距靶0.3～3.0cm范围内的不同位置引入氩气流,在烧蚀点正下方2.0cm处水平放置单...
关键词：纳米SI晶粒 脉冲激光烧蚀 环境气体 气流 尺寸分布 
激光脉冲波形对烧蚀Si靶表面温度的影响被引量：1
《强激光与粒子束》2010年第8期1843-1846,共4页王世俊 王英龙 丁学成 梁伟华 邓泽超 褚立志 傅广生 
国家自然科学基金项目(10774036);河北省自然科学基金项目(E2008000631);河北省教育厅基金项目(Z2007222);河北省光电材料重点实验室项目;河北大学自然科学基金项目
利用双温方程对激光烧蚀Si靶的过程进行了数值模拟,并结合合适的初始条件和边界条件,研究了在飞秒、皮秒激光作用下,脉冲波形(矩形、梯形、三角形和高斯形)对Si靶表面载流子和晶格温度分布的影响。结果表明:激光功率密度是影响载流子温...
关键词：激光烧蚀 双温方程 脉冲波形 载流子 耦合时间 
初始溅射烧蚀粒子总数对其传输中的密度和速度分布的影响被引量：2
《中国激光》2010年第4期1127-1131,共5页丁学成 傅广生 梁伟华 褚立志 邓泽超 王英龙 
国家自然科学基金(10774036);河北省自然科学基金(E2008000631);河北省教育厅科研计划项目(Z2007222);河北省光电材料重点实验室和河北大学自然科学基金资助课题
采用蒙特卡罗(Monte Carlo)模拟方法,研究了初始烧蚀粒子总数对其传输中的密度和速度及环境气体密度分布的影响。结果表明,随着烧蚀粒子总数增加,烧蚀粒子高密度峰离开靶的最大距离增大,到距靶最大距离处所用时间,出现先增大后减小的变...
关键词：激光技术 密度分布 蒙特卡罗模拟 速度分布 高密度峰 
激光烧蚀制备纳米Si晶粒的激光能量密度阈值被引量：3
《河北大学学报（自然科学版）》2009年第4期372-375,共4页褚立志 邓泽超 丁学成 卢丽芳 王英龙 
国家自然科学基金资助项目(10774036);河北省自然科学基金资助项目(E2008000631);河北省教育厅科研基金资助项目(Z2007222)
在10Pa的Ar环境气氛下，采用脉冲激光烧蚀方法在玻璃或单晶Si（111）衬底上制备了纳米Si晶薄膜。为了确定能够形成纳米Si晶粒的激光能量密度阈值，在0.40-1.05J／cm^2内实验研究了激光能量密度对纳米Si晶粒形成的影响。扫描电子显微镜（...
关键词：激光烧蚀 纳米Si薄膜 激光能量密度阈值 
激光退火能量对非晶Si薄膜晶化的影响被引量：2
《河北大学学报（自然科学版）》2008年第6期592-595,共4页邓泽超 马娜 褚立志 王英龙 
国家自然科学基金资助项目(10774036);河北省自然科学基金资助项目(E2005000129);河北省教育厅基金资助项目(Z2007222)
采用XeCl准分子脉冲激光,在真空环境中烧蚀单晶Si靶,在Si(111)和石英衬底上沉积生成非晶Si薄膜.在同样的环境下,用激光对非晶Si薄膜进行退火,通过扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对退火后的样品进行分析比较.结果表明,激光能量对非晶薄膜的...
关键词：激光退火 脉冲激光烧蚀 纳米晶粒 晶化 
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