沧州信联化工有限公司

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发文领域：化学工程自动化与计算机技术电子电信环境科学与工程更多>>
发文主题：四甲基氢氧化铵TMAH显影液电流效率光刻胶更多>>
发文期刊：《集成电路应用》《石油石化物资采购》更多>>
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化工工艺设计中安全风险分析及控制策略
《石油石化物资采购》2023年第10期19-21,共3页孟鹏 
化工行业生产具有一定风险性,如所使用的化学原料具有一定的危险性,在操作过程中,若未根据相关技术规范进行操作,就易出现安全风险事故。对于化学生产工艺而言,包括原料处理、化学反应和产品精制三个过程,其风险主要存在于化工设备、运...
关键词：化工行业 工艺设计 安全风险 
基于交联型丙烯酸酯类共聚物的Krf光刻胶分析
《集成电路应用》2022年第9期32-35,共4页耿文练 秦龙 孙小侠 
阐述在40nm以下技术节点的光刻工艺中,深紫外光刻胶(Krf Photoresist)应用比较广泛,仍是使用量最大的光刻胶种类,但已量产的Krf光刻胶由于开发时间较早,在部分工艺中抗刻蚀性能上存在不足。通过使用交联型单体合成一种交联型丙烯酸酯类...
关键词：集成电路制造 交联型 丙烯酸酯类共聚物 光刻胶 分辨率 刻蚀 
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