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作品数：5被引量：10H指数：2
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真空预载小孔节流静压气浮轴承静态特性分析被引量：2
《工业技术创新》2022年第3期51-57,共7页陈作炳 洪俊辉 梅文辉 吴志豪 童程光 
气浮轴承是光刻机等高精度设备的关键部件,其静态特性直接决定设备精度。以真空预载小孔节流静压气浮轴承为研究对象,探究供气压力、真空度、真空腔面积比以及节流孔直径等因素对轴承静态特性的影响。研究发现气膜厚度与轴承的静态特性...
关键词：气浮轴承 真空预载 承载能力 静态特性 气膜厚度 真空腔面积比 
带气腔结构的平面静压气体轴承特性分析被引量：5
《机械设计》2022年第1期59-64,共6页陈作炳 唐仁洪 梅文辉 吴志豪 
采用小孔节流的平面静压气浮运动平台由于其精度高、成本低等特点被广泛应用于精密设备当中,但相对于传统轴承存在承载力和刚度低的问题,很难将其应用到高速重载的设备中。针对以小孔节流的平面静压气体轴承承载力和刚度低的问题,通常...
关键词：平面静压气体轴承 气腔 Fluent仿真 承载特性 稳定性 
用于PCB行业的LDI设备发展状况被引量：3
《印制电路信息》2015年第11期41-43,70,共4页曲鲁杰 杜卫冲 
PCB行业向多层、高精度的HDI板、IC-载板方向发展,在这个领域里,传统曝光机已无法满足这种技术的需求,LDI正在替代传统曝光而迅速发展起来。文章介绍了当前在PCB行业中两种主流的LDI设备的技术以及发展状况。
关键词：激光成像 高密度互连 印制电路板 IC-载板 
湿法刻蚀制备微透镜阵列的影响因素
《广东化工》2015年第9期75-76,66,共3页李源 韩建崴 徐珍华 
广东省引进创新科研团队项目(2011G054)
湿法刻蚀在直接制备微透镜阵列以及制备微透镜阵列复制模具中得到了广泛应用。文章从基材、刻蚀保护层、曝光方式、刻蚀液、刻蚀工艺条件几个方面,介绍其对湿法刻蚀制备凹微透镜阵列品质的影响,并给出了批量制备高良率的微透镜阵列的建议。
关键词：微透镜阵列 湿法刻蚀 基材 无掩膜曝光 
带有滤光光阑的微透镜阵列制备方法
《广东化工》2015年第7期47-48,24,共3页韩建崴 李源 徐珍华 
广东省引进创新科研团队项目(2011G054)
文章提出了一种采用湿法刻蚀制备含滤光光阑的三明治结构微透镜阵列(MLA)的方法。该方法制备的微透镜阵列透镜一致性好,其上的滤光层能够有效遮挡杂光,极大改善了激光直写光刻系统(LDI)的曝光效果,并且该方法具有制备设备简单、制备成...
关键词：微透镜阵列 湿法刻蚀 滤光光阑 
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