苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料实验室

作品数：5被引量：7H指数：2
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发文领域：理学一般工业技术电气工程化学工程更多>>
发文主题：氮化硅等离子体电子密度液相法制备液相法更多>>
发文期刊：《功能材料》《苏州大学学报（自然科学版）》更多>>
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液相法制备掺氮碳膜的实验研究被引量：3
《功能材料》1999年第5期547-548,共2页沈明荣 许杞安 甘肇强 
在低温和常压下，通过电解甲醇和氨水混合溶液，在硅基片上进行沉积掺氮碳膜的尝试，得到了含氮8％的类金刚石薄膜。通过拉曼光谱和X光电子能谱对样品的测试表明：碳和氨在薄膜中是以SP2和SP3进行化学成键的。本文还提出了液相掺氮碳膜...
关键词：液相法 制备 掺氮碳膜 实验 
微波ECR-CVD低温SiN_x薄膜的氢含量分析被引量：1
《功能材料》1998年第1期89-91,共3页叶超 宁兆元 汪浩 沈明荣 甘肇强 
利用红外光谱技术研究了微波电子回旋共振( ECR)等离子体化学气相沉积 ( CVD)法在低温条件下制备的 Si Nx 膜的键结构和氢含量 ,分析了微波功率和后处理条件对膜含氢量的影响及其成因 ,提出适当提高微波功率是降低微波 ECR- CVD低温 Si ...
关键词：薄膜 氢含量 微波 ECR-CVD 低温 氮化硅 
非对称轴向二极场下等离子体特性的研究被引量：1
《真空科学与技术》1997年第2期106-109,共4页叶超 宁兆元 
对非对称轴向二极场下等离子体的特性进行了分析，在这种微波从弱场向强场入射的情况下，可以形成高密度等离子体，其原因为：在低气压下，L波经过ω＝ωpe（电子等离子体频率）层时，转变为R波，然后在电子回旋共振（ECR）区被共振吸...
关键词：等离子体 电子回旋共振 轴向二极场 薄膜沉积 
ECR等离子体气相沉积装置磁场形态的计算(英文)
《苏州大学学报（自然科学版）》1996年第2期51-57,共7页宁兆元 叶超 汪浩 沈明荣 
本文介绍了微波电子回旋共振等离子体气相沉积装置的磁场设计原理和计算方法,给出了几种电流强度、线圈间距等主要参量下的磁场形态.
关键词：等离子体 ECR 气相沉积装置 磁场 电流强度 
永磁微波ECR等离子体CVD低温淀积SiNx薄膜被引量：3
《功能材料》1996年第4期339-341,共3页叶超 宁兆元 金宗明 薛青 沈明荣 汪浩 
发展了永磁微波ＥＣＲ等离子体ＣＶＤ低温淀积氮化硅薄膜的技术，在低于６０℃的基片温度下。
关键词：氮化硅 低温淀积 薄膜 
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