亚表面

作品数：287被引量：881H指数：14
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光学玻璃磨削亚表面损伤预测模型及DOE实验设计
《机械科学与技术》2024年第3期520-525,共6页杨晓辉 周凌宇 刘宁 孟宪宇 
国家973重点基础研究发展计划(2017YFD0701103);国家自然科学基金项目(51705189);吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20241782KJ);吉林省职业教育与成人教育教学改革项目(2023ZCY294);吉林省高教科研一般课题(JGJX2022D714)。
为了掌握光学玻璃材料杯型砂轮研磨与表面粗糙度(SR)和亚表面损伤(SSD)机理,本文建立BK7光学玻璃杯型砂轮研磨表面粗糙度的预测模型,通过改变磨削参数来研究对表面粗糙度的影响。设计DOE试验,研究影响SR与SSD的显著性特征因子,并分析了...
关键词：表面粗糙度 亚表面损伤 BK7光学玻璃 预测模型 杯形砂轮磨削 DOE实验设计 
加工参数对激光沉积制造钛合金Ti6Al4V表面完整性的影响
《沈阳工业大学学报》2023年第1期59-65,共7页吴男 张棋 
国家自然科学基金项目(51875367,51505302);辽宁省自然科学基金项目(2020-MS-234)。
针对目前加工激光沉积制造钛合金Ti6Al4V存在的加工质量较差、加工效率较低等问题,以切削力、表面形貌、表面粗糙度、亚表面损伤作为评价指标,采用了正交试验的方法通过设置不同的铣削参数对立铣后的表面层进行分析.结果表明:切削深度...
关键词：加工参数 激光沉积制造 钛合金 表面完整性 正交试验 铣削 表面粗糙度 亚表面损伤 
湿式机械化学磨削单晶硅的软磨料砂轮及其磨削性能被引量：4
《机械工程学报》2023年第3期328-336,共9页张瑜 康仁科 高尚 黄金星 朱祥龙 
国家自然科学基金(51975091,51735004,55991372);国家重点研发计划(2018YFB12018041);江苏省精密与微细制造技术重点实验室基金资助项目
针对干式机械化学磨削(Mechanical chemical grinding,MCG)单晶硅过程中易产生磨削烧伤、粉尘多、加工环境差等问题,研制一种可用于湿式MCG单晶硅的新型软磨料砂轮,并对砂轮的磨削性能及其磨削单晶硅的材料去除机理进行研究。根据湿式...
关键词：机械化学磨削 硅片 软磨料砂轮 表面粗糙度 亚表面损伤 
β-Ga_(2)O_(3)晶体金刚石线锯切割的表面质量研究被引量：1
《人工晶体学报》2022年第12期2040-2047,2062,共9页李晖 高鹏程 程红娟 王英民 高飞 张弛 王磊 
本文探究了往复式金刚石线锯的工艺参数对β-Ga_(2)O_(3)单晶沿(001)晶面切片时表面质量的影响,从压痕断裂力学理论角度探究了金刚石线锯切割β-Ga_(2)O_(3)单晶过程中磨粒行为和材料去除机理。实验从各向异性角度分析了切割方向对(001...
关键词：β-Ga_(2)O_(3)晶片 金刚石线锯 切割方向 亚表面损伤层 表面粗糙度 
粗糙曲面无摩擦接触下的亚表面裂纹扩展分散性研究
《机械科学与技术》2022年第11期1671-1678,共8页周炜 罗柏瑶 唐进元 
国家自然科学基金项目(51705142);湖南省自然科学基金项目(2018JJ3162);难加工材料高效精密加工湖南省重点实验室开放基金项目(E21752)。
针对粗糙曲面无摩擦接触,为探究表面粗糙度对亚表面裂纹扩展分散性的影响,借助FFT粗糙表面重构方法获得不同统计分布下的随机形貌样本,通过弹性接触数值计算确定形貌样本对应接触压力分布,以所得接触压力分布为输入,基于线弹性接触力学...
关键词：粗糙度 接触疲劳 裂纹扩展 分散性 
工件旋转法磨削硅片的亚表面损伤深度预测被引量：6
《光学精密工程》2022年第17期2077-2087,共11页高尚 李天润 郎鸿业 杨鑫 康仁科 
国家自然科学基金重大项目(No.51991372);国家自然科学基金面上项目(No.51975091);国家自然科学基金重点项目(No.51735004);国家重点研发计划项目(No.2018YFB1201804-1)。
工件旋转法磨削是大尺寸硅片正面平整化加工和背面减薄加工的主要方法,但磨削加工不可避免地会在硅片表面/亚表面产生损伤。为了预测工件旋转法磨削硅片产生的亚表面损伤深度,优化硅片磨削工艺,根据工件旋转法磨削过程中硅片磨削表面的...
关键词：磨削 单晶硅片 表面粗糙度 亚表面损伤深度 
石英玻璃片的化学抛光工艺研究被引量：2
《光学与光电技术》2022年第2期159-164,共6页汤英童 杨长城 
石英玻璃是紫外光刻、激光核技术等精密光学系统的关键光学元件。石英玻璃在加工过程中易出现表面及亚表面损伤和蚀坑等缺陷问题,化学抛光能有效消除石英玻璃的亚表面损伤。介绍了石英玻璃片的化学抛光工艺原理和过程,利用正交实验法优...
关键词：石英玻璃 亚表面损伤层 化学抛光 表面粗糙度 工艺 
石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究被引量：22
《机械工程学报》2019年第5期186-195,共10页高尚 耿宗超 吴跃勤 王紫光 康仁科 
国家自然科学基金青年(51505063);国家自然科学基金创新研究群体(51621064);国家自然科学基金重点(51735004);国家自然科学基金面上(51575083)资助项目;国家科技重大专项(02专项)(2014ZX02504001);国家重点研发计划(2016YFB1102205)
为了实现石英玻璃的高效低损伤超精密磨削加工,研究不同粒度金刚石砂轮磨削石英玻璃的表面和亚表面质量,建立表面粗糙度与亚表面损伤深度之间的关系模型。通过石英玻璃磨削试验研究400#、1 500#、2 000#和5 000#金刚石砂轮磨削石英玻璃...
关键词：石英玻璃 磨削 表面粗糙度 亚表面损伤 材料去除机理 
K9玻璃磨削亚表面损伤深度预测模型及实验研究被引量：7
《中国机械工程》2016年第18期2442-2446,共5页张飞虎 李琛 赵航 冷冰 
国家自然科学基金项目资助(51175126);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB013202)
基于压痕实验原理,建立了K9玻璃亚表面损伤深度预测模型。为获得预测模型中的未知参量,开展了K9玻璃磨削实验。利用激光扫描共聚焦显微镜检测工件磨削后的表面粗糙度值,利用扫描电镜检测磨削后的工件表面微观形貌和亚表面损伤层形貌,分...
关键词：损伤层深度预测 K9玻璃 磨削 表面粗糙度 
磨削速度和压力对单晶硅去除特性的影响被引量：1
《金刚石与磨料磨具工程》2016年第3期1-5,10,共6页于月滨 王紫光 周平 高尚 郭东明 
国家自然基金重大研究计划集成项目(91023019);国家自然基金青年科学项目(51505063);中央高校基本科研业务费(DUT14LAB02;DUT14LH003);中国博士后基金面上项目(2014M561225)
为研究单晶硅磨削损伤,使用金刚石磨块在不同磨削速度和压力下对单晶硅表面进行高速划擦试验,金刚石的粒度尺寸为38~45μm。通过测量硅片表面粗糙度、亚表面损伤深度和材料去除率,研究磨块的磨削速度和压力对材料去除特性的影响规律。...
关键词：单晶硅 磨削速度 法向压力 粗糙度 去除率 亚表面损伤 
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