原子层外延

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激光诱导原子层加工技术
《仪器仪表学报》1995年第S1期162-166,共5页张玉书 
激光诱导原子层加工技术是近两年提出的新兴微细加工技术，本文对激光诱导原子层外延生长、原子层刻蚀、原子层掺杂等主要技术及其对能带工程的促进作用作了概要介绍。
关键词：单原子层 激光诱导 微细加工技术 外延生长 原子层外延 能带工程 超晶格 带偏移 准分子激光 刻蚀速率 
绝缘介质Al_2O_3薄膜的数字化生长技术
《仪器仪表学报》1995年第S1期167-169,共3页赵方海 刘扬 郑伟 马力 
采用ＣＶＤ技术实现了Ａｌ２Ｏ３薄膜的数字化生长，实验结果表明这种生长方法具有生长温度低、层厚可控等特点，生长出的薄膜每周期生长厚度约为１．１９。
关键词：Al2O3薄膜 数字化 生长技术 绝缘介质 生长速率 生长厚度 衬底温度 原子层外延 国家重点实验室 光电子学 
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