圆光栅

作品数：176被引量：446H指数：11
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基于CompactRIO的BiSS-C协议绝对式圆光栅接口通讯设计被引量：5
《仪表技术与传感器》2021年第12期66-70,共5页蔡吴磊 梁显荣 赵云峰 晋刚 
国家自然科学基金项目(11572129);国家重点研发计划项目(2019YFB1704902)。
为了满足旋转流变仪测控系统的精度要求,选用绝对式圆光栅作为位置传感器并通过BiSSC协议实现数据读取,但BiSS Master官方解码芯片灵活性及拓展性较差,因此设计了基于CompactRIO的BiSS-C协议通讯解码方案。针对该协议的通信传输方式及...
关键词：COMPACTRIO BiSS-C 绝对式圆光栅 通讯解码 旋转流变仪 位置采集 
圆光栅编码器测角误差源及频谱分析被引量：12
《激光与光电子学进展》2020年第17期163-170,共8页任曦 杜升平 陈科 王继红 
为提高圆光栅编码器测角精度、满足角秒甚至亚角秒级的精度测量需求,分析了影响其角度测量精度的误差来源,针对性地提出了多读数头读数平均法的补偿方法,进而控制误差源。根据圆光栅测角原理,分析了光栅系统刻化误差、读数头细分误差、...
关键词：测量 圆光栅 误差源分析 谐波误差 误差补偿 傅里叶分析 
精密机床传动链误差测量实验平台被引量：1
《实验技术与管理》2020年第8期125-129,共5页康玲 龙谭 夏长久 易力力 
国家自然科学基金项目(51635003);重庆市高等教育教学改革项目(182070)。
为实现精密机床传动链误差测量和分析,研发了精密机床传动链误差测量实验平台。硬件系统由圆光栅编码器、细分盒、FPGA数字信号采集卡和计算机组成。软件系统基于LabVIEW设计,包括FPGA计数程序和数据采集处理程序,实现误差采集、分析、...
关键词：传动链误差 圆光栅 LABVIEW 实验平台 
柔性臂测量机的圆光栅偏心参数标定算法被引量：7
《电子测量与仪器学报》2019年第8期1-7,共7页朱嘉齐 章家岩 冯旭刚 
安徽省自然科学基金(1908085ME134);安徽省重点研究与开发计划项目(1804a09020094);安徽省高校自然科学研究重点项目(KJ2018A0054,KJ2018A0060)资助
柔性臂测量机的关节转角误差具有累计放大的特性,为了减少圆光栅角度传感器的误差,提出了一种狼群算法和最小二乘法相融合的算法修正转角误差。首先分析了圆光栅的偏心参数,通过三角函数得到角度的修正公式。使用标准件进行了标定实验,...
关键词：融合算法 柔性臂测量机 偏心误差 参数标定 
反射式计量圆光栅自动检测系统的设计
《电子测量技术》2019年第2期63-66,共4页张晰 杨建新 陈赟 张宏胜 韩庆阳 高胜英 
精度和均匀性是评价计量光栅的重要参数,针对反射式计量圆光栅均匀性和精度的检测,设计了一套自动检测系统,系统在原定角检验仪的基础上,增加了反射式读数系统,通过信号采集卡并配合小型编码器将传感器的信号和位置信息传给计算机,然后...
关键词：反射式圆光栅 精度 均匀性误差 LABVIEW 自动检测 
编码器用圆光栅调整系统偏心位置计算方法被引量：2
《哈尔滨理工大学学报》2017年第4期122-128,共7页王义文 周志龙 王斐 刘献礼 付鹏强 梅恒 刘勇刚 林长友 
国家科技重大专项(4301-431010483)
编码器圆光栅装配过程中,编码器主轴的回转中心与圆光栅码道基圆中心之间的安装距离对编码器信号输出精度有较大影响。为了提高编码器圆光栅装配过程中偏心检测的效率和检测精度,便于后续进行偏心调整,提出了一种计算编码器偏心角度位...
关键词：编码器 偏心调整 特征提取 偏心计算 
基于FPGA的空间倾斜角测量控制系统研究
《计算机测量与控制》2016年第10期93-95,共3页杨华晖 冯伟利 刘福 
军工计量科研项目(J032008A005)
针对转台工作面空间角位置定位测量的问题,设计和实现了一种基于FPGA的空间倾斜角测量控制系统;该测控系统以圆光栅和水平电容传感器作为测量元件,根据给定的目标测量位置和传感器反馈角度值对超声波电机进行PID控制,在上位机处理测角...
关键词：角位置 FPGA PID 角度测量 圆光栅 
光刻机工件台自转电机控制系统设计被引量：2
《自动化技术与应用》2016年第9期20-23,共4页宋跃 张常江 强盛 刘洋 何良辰 
国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大科技专项(编号2009ZX02207)
双工件台是光刻机的重要部分,为了保证其曝光的准确性,提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案。详细介绍了控制系统的驱动电路、永磁同步电机执行机构和传感器等方面的设计。运动控制卡主要采用TI公司的TMS320C6414...
关键词：光刻机工件台 圆光栅 自转电机 
圆光栅偏心对仿真转台角位置精度的影响被引量：10
《长春理工大学学报（自然科学版）》2014年第3期9-12,共4页糜小涛 高胜英 
为了满足仿真转台角位置精度的指标要求,减小圆光栅安装偏心引起的角位置误差,本文提出了运用最小二乘拟合对该误差进行修正的方法。首先介绍了仿真转台的工作原理并给出了角位置精度的技术指标,然后理论分析了圆光栅安装偏心引起的测...
关键词：仿真转台 圆光栅 测角误差 误差修正 
提高圆光栅测角系统精度的读数头设计被引量：28
《电子测量与仪器学报》2013年第7期653-657,共5页苏东风 续志军 贾继强 刘波 李大伟 
国家863高技术研究发展计划(2007AA701203)资助项目
为了有效提高圆光栅测角系统精度,从布置方式及数据处理方式两方面设计了读数头。提出了通过对主光栅刻划误差进行谐波分析来合理布置读数头的方法,经分析采用四均布读数头的布置方式,可以减少主光栅刻划误差82.6%的谐波分量。与传统的...
关键词：圆光栅 谐波 四均布读数头 数字量相加 精度 
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