云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 等离子体增强

等离子体增强: 作品数：340被引量：736H指数：9; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：亓钧雷冯吉才姜礼华肖婷向鹏更多>>; 相关机构：中国科学院哈尔滨工业大学大连理工大学浙江大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>

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PMMA基底含氢非晶碳膜的结构和摩擦学性能被引量：5: 《材料研究学报》2008年第4期429-432,共4页蔺增李明吕少波林铁源巴德纯 In-Seop Lee; 辽宁省自然科学基金20071019;华中科技大学塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室开放基金06-9资助项目．~~; 分别用磁控溅射和等离子体增强化学气相沉积方法在PMMA基底上沉积硅膜和含氢非晶碳(a-C:H)膜.用氩离子溅射硅靶制备硅膜,以甲烷和氢气为反应气体在不同自偏压下制备非晶碳膜.分别用原子力显微镜、X射线光电子能谱和紫外拉曼光谱表征薄...; 关键词：无机非金属材料含氢非晶碳膜等离子体增强化学气相沉积 PMMA 自偏压硬度摩擦学性能

Ti/TiN/TiC/DLC固体膜润滑特性实验研究被引量：2: 《真空》2007年第5期19-21,共3页李明王凤蔺增巴德纯; 沈阳市科技基金(1053125-1-24);华中科技大学塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室开放基金(06-9); 提出一种新型复合固体润滑膜,并讨论了该复合膜的结构和作用机理。复合结构的基本组成是传统硬质涂层TiN和TiC的结合,最上面的固体润滑膜是用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)方法沉积的类金刚石(DLC)膜。分别用紫外拉曼光谱仪和...; 关键词：固体润滑膜磨损保护膜类金刚石膜等离子体增强化学气相沉积

自偏压对含氢非晶碳膜光学特性的影响被引量：4: 《真空科学与技术学报》2007年第4期350-353,共4页蔺增巴德纯王凤李明; 沈阳市科技基金(No.1053125-1-24);华中科技大学塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室开放基金(No.06-9); 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)方法,以CH4、Ar和H2为气源,在CR-39树脂材料上制备出了含氢非晶碳膜(a-C∶H膜)。研究了不同偏压对a-C∶H膜生长过程和光学特性的影响。使用激光拉曼光谱(Raman)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)...; 关键词：含氢非晶碳膜等离子体增强化学气相沉积自偏压光学特性

含氢类金刚石碳膜的拉曼光谱洛伦兹分解被引量：6: 《东北大学学报（自然科学版）》2007年第4期573-575,共3页蔺增巴德纯王凤; 辽宁省自然科学基金资助项目(20062029);华中科技大学塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室开放基金(06-9);沈阳市科技基金资助项目(1053125-1-24); 利用射频等离子体增强化学气相沉积(rf PECVD)工艺在不锈钢基底上制备a-C:H膜,利用激光Raman光谱表征所沉积碳膜的微观结构,特别是通过对拉曼谱图进行洛伦兹分解来评价所沉积碳膜的sp3含量,分析了沉积电压和过渡层对a-C:H膜生长过程及膜...; 关键词：氢化类金刚石碳膜等离子体增强化学气相沉积拉曼光谱洛伦兹分解

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