声表面波器件

作品数：329被引量：417H指数：10
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相关作者：潘峰文常保董加和巨永锋曾飞更多>>
相关机构：中国科学院中国电子科技集团第二十六研究所天津理工大学清华大学更多>>
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一种IDT/(002)ZnO/SiO_(2)/Si多层结构的声表面波器件
《传感技术学报》2021年第10期1360-1365,共6页朱敏 刘智荣 包文歧 徐才华 谢立强 
国家自然科学基金面上项目(5197052542)。
以IDT/(002)ZnO/SiO_(2)/Si多层结构的声表面波器件为研究对象,通过有限元软件对单对叉指的三维结构进行有限元仿真,得到了不同的ZnO膜厚对SAW器件所激发瑞利波的相速度、机电耦合系数的影响规律,以及SiO_(2)膜厚与SAW器件频率温度系数...
关键词：声表面波 有限元仿真 多层结构 ZNO薄膜 SiO_(2)薄膜 
声表面波器件的反射特性及性能被引量：3
《传感技术学报》2017年第12期1850-1856,共7页王添仙 谢立强 邢建春 朱玺峰 
国家自然科学基金项目(51505499);江苏省自然科学基金项目(BK20150712)
为了准确分析反射型声表面波器件参数对其性能的影响,基于耦合模理论和P矩阵方法建立了器件的耦合模模型,分析得到器件的电反射特性即反射系数S11曲线,并在128°Y-X Li Nb O3压电基片试制了频率为90 MHz的多种参数的器件,分析与测试结...
关键词：声表面波 叉指换能器 耦合模 反射系数 
MWCNT-WO_3薄膜双声路SAW NO_2气体传感器被引量：3
《传感技术学报》2008年第10期1678-1681,共4页文常保 朱长纯 巨永锋 邱彦章 许宏科 刘君华 
国家自然科学基金资助项目(60176020;60476037);教育部博士点基金资助项目(20020698014)
以金属钨粉,H2O2,CH3OH和多壁碳纳米管(MWCNT)为原料,在双声路声表面波(SAW)器件的测量声路上制作了MWCNT-WO3薄膜,提出并实现了一种MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器。由于MWCNT和WO3对NO2气体都有敏感作用,而且碳纳米管的毛细作...
关键词：声表面波器件 MWCNT WO3 NO2气体 传感器 
基于电路仿真技术异型声表面波器件特性分析
《传感技术学报》2007年第3期703-706,共4页章安良 
浙江省教育厅科研项目资助(20040929);宁波市博士基金资助项目(2005A610011)
为了能够采用EDA工具设计含声表面波器件的电子系统,本文研究了应用EDA工具仿真声表面波器件特性的方法.它以叉指换能器一个周期段的Mason等效电路模型为基础,根据电网络理论将Mason等效电路模型中的复阻抗采用LC串并联网络来等效,LC网...
关键词：等效电路 叉指换能器 LC网络 
基于声表面波双端谐振器的气体传感器被引量：2
《传感技术学报》1997年第1期7-12,共6页戴恩光 冯冠平 何振华 崔大付 
国家博士点基金项目
首先研究了双端声表面波谐振器的一些特点,然后从传感技术角度,给出了一种不用延迟线而采用谐振器(SAWR)对有机气体检测的新方法。
关键词：气体传感器 谐振器 延迟线 声表面波器件 
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