拾振器

作品数：35被引量：63H指数：5
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微拾振器压电悬臂梁结构的设计与测试
《微细加工技术》2006年第5期55-58,64,共5页方华斌 董璐 刘景全 陈迪 蔡炳初 徐峥谊 王莉 
提出了一种压电悬臂梁结构的微拾振器,利用有限元法计算了结构的固有频率和电压输出,以设计适合具体应用环境的器件结构。采用MEMS技术制备了器件原型并进行了试验测试。研究表明,所制备的器件在加速度为9.8 m/s2的低频谐振激励下电压...
关键词：微拾振器 压电悬臂梁 有限元模拟 固有频率 电压输出 
PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究被引量：6
《微细加工技术》2005年第4期48-51,共4页方华斌 刘景全 徐峥谊 王莉 陈迪 蔡炳初 刘悦 
采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构。基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZ...
关键词：拾振器 PZT厚膜 PT/TI电极 湿法化学刻蚀 干法刻蚀 
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