投影物镜

作品数：104被引量：312H指数：10
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相关作者：王向朝李艳秋李思坤唐锋闫观勇更多>>
相关机构：上海微电子装备(集团)股份有限公司中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
相关期刊：《集成电路应用》《微纳电子技术》《光学与光电技术》《红外技术》更多>>
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基于Ronchi剪切干涉的投影物镜数值孔径测量方法被引量：1
《中国激光》2023年第13期94-102,共9页卢云君 李中梁 唐锋 王向朝 
国家科技重大专项(2017ZX02101006);国家自然科学基金(61971406,81927801);中国科学院青年创新促进会项目。
数值孔径(NA)作为投影物镜的基本参数,决定了投影物镜的成像分辨率。在利用双光栅Ronchi剪切干涉仪测量投影物镜波像差时,NA也是实现波像差高精度检测的一项基本参数。提出了一种基于Ronchi剪切干涉像面光栅轴向离焦的投影物镜NA测量方...
关键词：测量 数值孔径测量 投影物镜 Ronchi剪切干涉 剪切波前 光程差 
深紫外光刻投影物镜温度特性研究被引量：6
《中国激光》2016年第5期270-279,共10页姚长呈 巩岩 
科技部中白合作项目(2011DFR10010);吉林省自然科学基金(20140203001GX)
透镜材料对激光能量的吸收导致深紫外光刻投影物镜温度升高,产生热像差。离轴照明模式下,温度呈非对称分布,研究温度场对热像差的仿真预测和补偿具有十分重要的意义。提出了温度分布函数模型描述4种照明模式下物镜的三维温度分布;研究...
关键词：光学制造 光刻投影物镜 温度分布模型 仿真分析 热像差 
调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响被引量：2
《中国激光》2014年第7期285-292,共8页张德福 李显凌 
国家科技重大专项基金(2009ZX02205)
针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求,对偏心调节时的透镜进行受力分析,基于柔度矩阵法设计了一种柔性多弹片透镜支撑结构,研究了透镜面形随调节力的变化规律,采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷(PV)值、均方根(RMS)值和Fringe Z...
关键词：光学器件 深紫外光刻 投影物镜 像差补偿 偏心调节机构 调节力 面形 
基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术被引量：1
《中国激光》2006年第1期85-90,共6页施伟杰 王向朝 张冬青 王帆 
提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系统获取曝光在硅片上的测量标记图形的对准位置信息,根据对准位置信息计算得到视场中各点的焦深。与传统的...
关键词：激光技术 焦深 光学对准 投影光刻机 原位检测 
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