扭摆

作品数：205被引量：427H指数：11
导出分析报告
相关领域：理学机械工程更多>>
相关作者：周泽兵李明王川张天爵唐文彦更多>>
相关机构：华中科技大学中国科学院东南大学中国石油更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项中国石油天然气集团公司科技项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=电子器件x
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
一种MEMS扭摆式强磁场测量传感器被引量：2
《电子器件》2017年第2期301-305,共5页徐雪祥 张鉴 鲍霖 戚昊琛 杨文华 
国家自然科学基金项目(61404042);合肥工业大学实验室自制仪器设备项目(Z201518);省级大学生创新训练项目(2016CXCYS091)
提出了一种扭摆式结构的MEMS电容式强磁场传感器,采用洛伦兹力驱动,通过测量硅板扭摆导致的电容变化来检测外部磁场强度,测量磁场的量程设计在0.2 T～2 T之间。首先介绍了传感器的工作原理,然后对其进行仿真,分析其物理特性,建立了模型...
关键词：MEMS 磁场传感器 洛伦兹力 扭摆式 
扭摆式微硅隧道加速度传感器被引量：5
《电子器件》2001年第4期285-294,共10页陈德英 茅盘松 史建伟 熊涛 张旭 金肖科 
本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型 ,设计了版图、工艺流程及关键工艺 ,并制备出样品 。
关键词：微硅 扭摆式 隧道效应 加速度传感器 
扭摆式微硅型加速度计
《电子器件》1996年第3期159-164,共6页茅盘松 
本文介绍了一种扭摆式微硅型加速度计的工作原理，制作方法和测试电路。
关键词：扭摆式 微硅 加速度计 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部