电子光学

作品数：385被引量：418H指数：9
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电子光学系统的GADFP组合优化方法被引量：2
《仪器仪表学报》2000年第2期149-152,共4页叶美盈 汪晓东 
浙江省教委基金资助项目
首次提出了将遗传算法 (GA)和变尺度法 (DFP)相结合的电子光学系统设计的组合优化方法。该方法首先用模拟自然界生物进化过程的全局优化搜索方法— GA以像差系数为目标函数进行优化 ,得到电子光学系统轴上电位分布 ,然后根据上述轴上电...
关键词：电子光学系统 优化设计 遗传算法 变尺度法 
用于微型、纳米卫星三维作图的微型多来电子束曝光系统研究
《仪器仪表学报》1996年第S1期310-313,共4页陶友松 付世民 李达耀 刘志雄 西门纪业 
采用微型多束电子束曝光手段研制微型、纳米卫星所用ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统，具有灵活、迅速和设备费用较低的优点。本文介绍一台四束微型电子束曝光系统的总体方案、电子光柱计算、结构设计和扫描电路实验。四条电子束一条适用于微...
关键词：电子束曝光系统 电子束曝光机 纳米卫星 电子光学柱 微型机械 结构设计 离子束 工件台 电气系统 光子束 
电子束曝光机的加工精度被引量：1
《仪器仪表学报》1996年第S1期239-239,共1页李士章 冯友彬 余越 
电子束曝光机的加工精度李士章，冯友彬，余越（哈尔滨工业大学电子束技术研究室）０引言电子束曝光机是当代微细和超微细加工的核心工艺装备。早在七十年代美国ＩＢＭ公司就用ＳＡ直径的电子束加工出８０Ａ线宽、１００人厚的金属结构...
关键词：电子束曝光机 加工精度 套准精度 超导量子干涉器件 电子束技术 误差因素 哈尔滨工业大学 误差的影响 电子光学柱 超微细加工 
电子枪电子光学系统高精度辅助设计计算方法被引量：1
《仪器仪表学报》1986年第4期383-391,共9页刘宝炎 臧式先 孙长义 
本文推荐一组强流电子束的自洽性方程,论述磁透镜的矩形有限元分析方法及静电场非均匀阶梯型网络差分方法并给出电位及电位梯度插值公式。本文指出调整发射系统,在空间电荷限制发射和温度限制发射的临界状态下工作的途径;说明漂移区轨...
关键词：电子光学系统 强流电子束 电位梯度 漂移区 磁透镜 临界状态 轨迹方程 修正计算 插值公式 温度限制 
探针振动法测定旋转对称磁透镜的场分布
《仪器仪表学报》1986年第2期149-154,共6页吴明均 R Murillo 
电磁透镜是电子显微镜和微分析仪器等电子光学仪器的基本元件。电磁透镜的特性尤其是物镜决定着这些仪器的主要性能。如果我们知道了电磁透镜的轴上场分布,则它的电子光学特性就可以计算出来。探针振动法就是用来直接测量旋转对称电磁...
关键词：电磁透镜 旋转对称 振动法 电子光学仪器 光学特性 电磁感应原理 基本元件 正弦振动 测量线 被测量 
不对称单场透镜的电子光学性质
《仪器仪表学报》1984年第1期31-39,共9页陈文雄 
对于不对称单场透镜的电子光学性质进行了系统的分析和计算。单场透镜的性质不仅决定于极靴的几何参数,而且决定于它的磁饱和程度。下极靴适当地强饱和时,不对称单场透镜可以产生低的球差系数。研究球差系数和色差系数的被积函数沿轴的...
关键词：透镜 磁饱和 球差 极靴 电子光学 电子学 不对称 
电子光学复合系统中高斯轨迹参量的线性变换
《仪器仪表学报》1981年第1期1-11,共11页西门纪业 
本文在文献[1][2]的基础上进一步从更为普遍的观点出发,将电子光学复合系统中偏转磁场和旋转对称场的相互作用看成对于聚焦场所形成的高斯轨迹参量的线性变换。从而引进了象差生成函数来描写复合系统的各种偏转象差,所得结果具有较大的...
关键词：线性变换 象差 复合系统 生成函数 磁透镜 旋转对称 横向放大率 磁偏转器 静电透镜 矢量形式 
一种电子显微镜用高亮度长寿命阴极Y_2O_3-lr被引量：1
《仪器仪表学报》1981年第1期18-23,共6页陈尔纲 沈凤鸣 郑如梅 
本文介绍了一种适宜于电子显微镜用的高亮度长寿命的新阴极Y_2O_3-1r。测量其热发射特性:介于Th-W阴极与LaB_6阴极之间。测量其电子枪特性:束流稳定度可达7×10^(-3),亮度可达3×10~5A/cm^2·sr,交叉斑直径约为20μ。根据对其物理化学...
关键词：Y2O3-lr 阴极表面 透射式 发射性能 化学性能 发射特性 制造工艺 热发射 透射电镜 电子光学系统 
光学和电子显微镜的直边衍射和象质评价被引量：1
《仪器仪表学报》1980年第2期74-82,共9页陈祥祯 庄松林 
本文在部分相干条件下,研究了光学和电子显微镜的直边衍射和象质的评价及定量测试方法。描述了相应的实验装置,物理模型和数值计算结果。这些结果为显微(或微缩)系统的设计评价和装校测试提供了新的途径。
关键词：直边衍射 相干条件 相干度 设计评价 定量测试 物理模型 显微系统 能量分布 电子光学系统 完全相干 
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