热载流子注入

作品数：42被引量：44H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：章晓文恩云飞唐逸任铮禹玥昀更多>>
相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司信息产业部电子第五研究所中芯国际集成电路制造(北京)有限公司长江存储科技有限责任公司更多>>
相关期刊：《集成电路应用》《合肥工业大学学报（自然科学版）》《电子器件》《物联网技术》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金模拟集成电路重点实验室基金更多>>
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JLNT-FET和IMNT-FET中传导机制对电热特性影响研究
《微电子学》2023年第5期910-916,共7页刘先婷 刘伟景 李清华 
国家自然科学基金资助项目(52177185,62174055)
无结纳米管场效应晶体管(JLNT-FET)和反转模式纳米管场效应晶体管(IMNT-FET)因具有较好的驱动能力和对短沟道效应(SCE)卓越的抑制能力而被关注,自热效应(SHE)作为影响其电热性能的关键问题而被广泛研究。文章基于TCAD数值仿真,通过对环...
关键词：无结纳米管场效应晶体管 反转模式纳米管场效应晶体管 电热特性 自热效应 热载流子注入 
热载流子注入效应的可靠性评价技术研究被引量：1
《微电子学》2013年第6期876-880,共5页章晓文 陈鹏 恩云飞 张晓雯 
研究了热载流子注入效应的可靠性评价方法,利用对数正态拟合的中位失效时间,提取加速寿命试验的模型参数。利用这些模型参数,分别评价了0.18μm CMOS工艺薄栅和厚栅器件的可靠性。结果表明,HCI效应仍然制约着0.18μm CMOS工艺的可靠性...
关键词：CMOS工艺 加速寿命试验 热载流子注入效应 可靠性评价 
集成电路圆片级可靠性测试被引量：4
《微电子学》2013年第1期143-147,共5页秦国林 许斌 罗俊 
模拟集成电路重点实验室基金资助项目(9140C090406120C09037);民用航空预先研究资助项目(YG0901-3)
在集成电路制造厂的工艺监控体系中引入可靠性监控对于控制产品的可靠性十分重要。圆片级可靠性测试技术通过对集成电路产品的工艺过程进行可靠性检测,能够为集成电路制造工艺提供及时的可靠性信息反馈。圆片级可靠性测试通常是采用高...
关键词：圆片级可靠性 集成电路制造 热载流子注入 电迁移 
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