微传感器

作品数：328被引量：985H指数：15
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用于微传感器中PZT压电薄膜的制备和图形化被引量：3
《压电与声光》2008年第4期453-455,共3页娄利飞 杨银堂 李跃进 
国家自然科学基金资助项目(90207022);武器装备预研基金资助项目(51411040105DZ0141)
采用溶胶-凝胶法在Si/Si3N4/Poly-Si/Ti/Pt基片上制备PZT压电薄膜,为了选择更适合微电子机械系统(MEMS)器件的压电薄膜,采用一般热处理和快速热处理对锆钛酸铅(PZT)压电薄膜进行干燥和结晶。首先,采用V(H2O):V(HCL):V(HF)=280 mL:120 mL...
关键词：锆钛酸铅(PZT) 压电薄膜 微传感器 湿法化学刻蚀 
微传感器制备中多孔硅牺牲层技术的研究
《压电与声光》2008年第2期187-189,共3页娄利飞 李跃进 杨银堂 汪家友 
国家自然科学基金资助项目(90207022);武器装备预研基金资助项目(51411040105DZ0141)
采用双槽电化学腐蚀法成功的制备了多孔硅,从多孔硅的SEM照片中发现,孔径尺寸小,均匀性好,腐蚀深度大(超过100μm),在极稀的弱碱溶液中就可以得到去除,然后对双槽化学腐蚀法中腐蚀时间及电流对腐蚀速率的影响进行了研究,最后进一步探讨...
关键词：多孔硅 牺牲层 MEMS 双槽电化学腐蚀法 
压电薄膜微传感器振动模态的仿真分析被引量：16
《振动与冲击》2006年第4期165-169,共5页娄利飞 杨银堂 樊永祥 李跃进 
国家自然科学基金资助项目(90207022);武器装备预研基金项目(51411040105DZ0141)
以压电本构方程为基础,建立了压电薄膜微传感器机电耦合的有限元模型,采用有限元分析软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器进行了模态分析,同时分析了压电薄膜微传感器的结构尺寸对振动模态的影响,探讨了影响压电薄膜微传感器工作稳定性和响...
关键词：压电薄膜 有限元分析 耦合场 微传感器 模态分析 
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