微传感器

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通用工艺与设备
《电子科技文摘》2005年第9期32-36,共5页
体微加工技术在 MEMS 中的应用[刊,中]/林日乐//压电与声光.—2005,27(3).—324.327(L2)微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术,包括表面微加工技术和体微加工技术。其中体微加工技术是微传感器、微执...
关键词:通用工艺 微加工技术 刻蚀技术 湿法刻蚀 石英晶体 微执行器 微传感器 微机电系统 加速度传感器 深槽 
交通运输与建筑工程
《电子科技文摘》2002年第6期175-178,共4页
SPIE-Vol.3988 0212319SPIE会议录,卷3988:用于桥梁、建筑和公路的智能系统=Proceedings of SPIE,Vol.3988:Smart systems
关键词:智能系统 会议录 SPIE 交通运输 应变传感器 微传感器 专家系统 振动传感器 电动汽车驱动 场景漫游 
其它计算机与系统
《电子科技文摘》2002年第2期128-129,共2页
关键词:工作流 编程工具 微传感器 数据路径 设计方案 可编程逻辑器件 服务器结构 信息系统开发 软件无线电 自动合成 
生产过程控制及其系统
《电子科技文摘》2001年第2期136-136,共1页
0103362汽车变截面板簧轧机计算机控制系统的研究[刊]/万文略//电子技术应用.—2000,26(10).—23~24(D)介绍两辊式汽车变截面板簧轧机计算机控制系统的主要硬件结构、设计方法,以及多模态智能控制算法在液压伺服系统中的应用。该控制...
关键词:计算机控制系统 汽车变截面板簧 生产过程控制 微传感器 液压伺服系统 智能控制算法 半导体 监测控制系统 设计方法 硬件结构 
自动测试及其系统
《电子科技文摘》1999年第9期111-112,共2页
9913997硅谐振压力微传感器开环自动测试技术[刊]/周浩敏//测控技术.—1999,18(3).—12~14(V)9913998USON4000测试系统常见故障的分析与处理[刊]/卢碧红//自动化与仪表.—1999,14(2).—63~66(V)
关键词:自动测试系统 分析与处理 压力微传感器 自动测试技术 测控技术 常见故障 自动化 仪器仪表 自动检测系统 智能仪表 
传感器
《电子科技文摘》1999年第6期122-124,共3页
Y98-61403-47 9908237热电薄膜的传感器应用=Sensor application of thermo-electric thin films[会,英]/van Herwaarden,S.//199716th International Conference on Thermoelectrics.—47~55(AG)本文描述了采用薄膜和硅技术制造的热...
关键词:弱磁传感器 微传感器 热传感器 目前工艺水平 设计方法论 传感器应用 物理效应 热效应 压力传感器 薄膜 
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