微电铸

作品数：74被引量：212H指数：8
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微电铸层均匀性的影响研究被引量：2
《电镀与环保》2010年第4期10-13,共4页王星星 雷卫宁 姜博 
国家自然科学基金项目(50875116)
微电铸技术加工的器件往往存在铸层不均匀的缺陷,导致其质量和性能大大降低。针对微电铸的不均匀性,介绍了微电铸工艺流程,从几何因素和电化学因素两方面对微电铸层均匀性的影响进行了综述。
关键词：微电铸 工艺 均匀性 影响 
LIGA技术微电铸镍的电化学研究被引量：3
《电镀与环保》2005年第2期8-10,共3页李永海 丁桂甫 张永华 曹莹 赵小林 
国家"8 63"计划 (2 0 0 3AA40 414 0 );国防预研课题 (0 2 413 0 80 5 0 116)
微电铸工艺兼具掩膜电镀和厚膜结构电铸的双重特征。采用线性电位扫描和电化学交流阻抗等电化学测量技术 ,对高深宽比掩膜条件下微电铸镍的电极反应动力学过程进行了初步研究。结果显示 ,高深宽比掩膜使扩散传质过程更容易成为电极反应...
关键词：电铸镍 LIGA技术 电化学研究 电化学交流阻抗 线性电位扫描 电极反应 高深宽比 动力学过程 电铸工艺 测量技术 控制因素 传质过程 改良工艺 电镀过程 膜结构 掩膜 微电铸 多孔 
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