微动台

作品数:46被引量:156H指数:7
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相关作者:谭久彬朱煜张鸣吴剑威刘杨更多>>
相关机构:哈尔滨工业大学上海隐冠半导体技术有限公司清华大学广东工业大学更多>>
相关期刊:《现代制造工程》《自动化技术与应用》《农业机械学报》《中国计量》更多>>
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粘滑式压电驱动平台的复合控制被引量:3
《光学精密工程》2019年第12期2571-2580,共10页徐斯强 朱晓博 刘品宽 
国家科学挑战计划资助项目(No.JCKY2016212A506-0105);国家重大专项(No.2016ZX04002007)
粘滑式压电驱动平台能实现高精度的大行程运动,它由微动台和滑块组成,而微动台的低阻尼振动限制了粘滑式压电驱动平台的运动速度。为了解决这一问题,提出了一种基于主动阻尼的复合控制策略(PI-DPF-FF)。首先,对输入的锯齿波信号进行滤波...
关键词:压电驱动 复合控制 微动台 主动阻尼 
压电陶瓷微动台的复合控制被引量:19
《光学精密工程》2012年第6期1265-1271,共7页王俐 饶长辉 饶学军 
国家自然科学基金重点项目(No.11178004)
压电陶瓷微动台的迟滞非线性严重影响其动态定位精度,为了解决这一问题,采用一种改进的PI模型对微动台的迟滞非线性进行了建模。为了提高传统PID算法对压电陶瓷微动台的动态定位性能,将改进的PI模型与传统PID算法组合构成前馈复合控制算...
关键词:压电陶瓷 迟滞特性 改进的PI迟滞模型 前馈控制 动态定位精度 
基于TMS320DM642和S3C2410的细胞注射装置控制系统被引量:4
《光学精密工程》2008年第8期1500-1507,共8页于保军 杨志刚 周广禄 
国家自然科学基金重点资助项目(No.50735002)
为解决目前细胞注射装置普遍采用的在显微镜下手动操作的机构效率低下、响应速度慢等问题,提出了基于DSP和ARM嵌入式系统的细胞注射装置。该装置利用基于TMS320DM642的图像处理子系统完成图像的采集、处理并将处理的结果保存在特定的存...
关键词:细胞注射装置 宏/微双精度微动台 视觉伺服控制 HPI接口 
纳米X-Y工作台固有频率特性的研究被引量:4
《光学精密工程》1995年第6期50-54,共5页吴一辉 杨洪波 
从理论和实验西方面对纳米x—y工作台的固有频率特性进行了分析计算和讨论。
关键词:纳米定位 工作台 固有频率特性 微动台 
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