微反射镜

作品数：52被引量：63H指数：4
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相关作者：吕金光梁静秋秦余欣陈维友董玮更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院吉林大学北京理工大学更多>>
相关期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《光学学报》《光电子信息快报》更多>>
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倾斜微反射镜快速WDM开关
《光机电信息》1999年第6期25-26,共2页齐涤非 王权陡 
1 概述一种在波分复用多路传输的光纤系统中使用的多通道开关是利用微反射镜阵列为高带宽通信链络增、减通道的。这种处于试验阶段的波分复用多路传输(简称为WDM)开关是由新泽西的贝尔实验室Lucent技术部开发的,它能提供16个通道波长选...
关键词：倾斜微反射镜 WDM开关 多通道开关 微反射镜 
自由空间用微光学元件被引量：1
《光机电信息》1995年第3期5-9,共5页杨妹清 
众所周知，采用碱性湿刻液，尤其是氢化钾(KOH)溶液的(110)硅片各向异性刻蚀，作为一种加工手段，可获得其它方式难以获得的垂直且高纵横比形状。同时，其刻蚀侧面，即(111)晶面，可达到非常平滑的程度。新制作的具有上述特点的硅板，...
关键词：微光学元件 自由空间 微反射镜 硅片 各向异性刻蚀 滤光片 干涉仪 
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