微光刻技术

作品数:15被引量:47H指数:3
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相关领域:电子电信更多>>
相关作者:陈宝钦侯德胜冯伯儒张锦汤跃科更多>>
相关机构:中国科学院中国科学院微电子研究所四川师范学院ASML控股股份有限公司更多>>
相关期刊:《微电子技术》《微细加工技术》《光电技术》《集成电路应用》更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金更多>>
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全国半导体设备和材料标准化技术委员会第九届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会2019年会在长春召开
《微纳电子技术》2019年第11期939-939,共1页
全国半导体设备和材料标准化技术委员会第九届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2019年9月8-12日在长春市召开,来自全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会的委员和国内外86家单位微光刻领域的专家及技术人...
关键词:微光刻技术 最新研究成果 标准化技术委员会 半导体 技术人员 
全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会(筹)全体大会暨国家标准审定会圆满闭幕
《微纳电子技术》2012年第1期68-68,共1页
全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会(筹)全体大会暨国家标准审定会于2011年11月24—25日在深圳市顺利召开,来自全国各地37个单位的55名代表参加了本次会议,参加会议的还有北京电子学会半导体委员会委员与《微...
关键词:标准化技术委员会 半导体设备 微光刻技术 国家标准 审定 材料 纳米制造技术 用户单位 
图像传感器面临的市场竞争被引量:2
《光机电信息》2006年第4期50-51,共2页庞骐 
图像传感器在消费品市场和专用品市场均迎来了属于自己的销售旺期,在已经建立的相当大的市场基础上,销售额将不断攀升。
关键词:图像传感器 市场竞争 互补型金属氧化物半导体 超大规模集成电路 0.18μm 微细加工技术 制造技术 电子线路 微光刻技术 市场发展 
Silicon Valley Group与NASA合作开发下一代微光刻技术
《微电子技术》1998年第1期63-63,共1页长风 
关键词:微光刻技术 合作开发 下一代 反射光学 光刻术 半导体工业 开发成果 共同开发 有关资料 
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