微光学

作品数：253被引量：521H指数：10
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紫外激光器及其在微加工中的应用被引量：20
《光电工程》2017年第12期1169-1179,共11页聂世琳 管迎春 
国家重点研发计划"增材制造与激光制造"重点专项(2016YFB1102503);科技部973计划(2015CB059900);北京市自然科学基金(39022303139022302);国家自然科学基金(51705013)
紫外激光以其波长短、加工精度高、冷加工等特性,在微细制造中具有独特优势,能够有效提高制造品质。近年来,随着现代电子产业的快速发展,其对生产制造的要求不断提高,紫外激光的应用和发展也受到人们的广泛关注。紫外激光在微加工过程...
关键词：紫外激光器 激光微加工 半导体材料 微光学元件 聚合物 
飞秒激光在铌酸锂内部的电光集成
《激光与光电子学进展》2009年第2期21-21,共1页廖洋 徐剑 孙海轶 程亚 徐至展 
国家重点基础研究项目(2006CB806000)资助课题
近年来，飞秒激光南于其超快时间特性和超高峰值功率特性在精密微纳加工领域引起了人们极大的兴趣。利用飞秒激光在透明材料内部实现微光学、微电子、微流体等多功能的集成得到越来越多的重视.
关键词：飞秒激光 光集成 铌酸锂 微纳加工 功率特性 时间特性 透明材料 微光学 
MOEMS器件研究及其应用被引量：1
《光学精密工程》2004年第z1期36-39,共4页巫正中 钟先信 李晓毅 余文革 
国家重点基础研究规划项目"集成微光机电系统"课题资助(No.G1999033105)本文受国家重点基础研究规划项目"集成微光机电系统"课题资助(课题编号:G1999033105).
近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检...
关键词：MEMS MOEMS 微机械 微光学 
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