云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 微机械光开关

微机械光开关: 作品数：13被引量：21H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：电子电信电气工程更多>>; 相关作者：陈维友董玮王跃林梁静秋李铁更多>>; 相关机构：中国科学院吉林大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所浙江大学更多>>; 相关期刊：《吉林大学学报（信息科学版）》《通信世界》《高技术通讯》《光子学报》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>

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低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作被引量：1: 《高技术通讯》2003年第7期46-49,共4页董玮阮圣平张歆东刘彩霞贾翠萍潘建旋张龙孙东明纪平陈维友; 863计划 ( 2 0 0 2AA3 12 0 2 3 );国家自然科学基金 ( 6993 70 10 );吉林省科学计划发展 ( 2 0 0 10 3 19)资助项目; 利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 ...; 关键词：微机械光开关微反射镜硅静电驱动扭臂结构倾斜下电极自对准V型糟制作方法全光网络