微机械技术

作品数：79被引量：138H指数：7
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MEMS工艺中TMAH湿法刻蚀的研究被引量：9
《半导体光电》2003年第2期127-130,共4页罗元 李向东 付红桥 黄尚廉 
重庆市院士基金资助项目(6795)
　TMAH具有刻硅速率高、晶向选择性好、低毒性和对CMOS工艺的兼容性好等优点,而成为MEMS工艺中常用的刻蚀剂。但TMAH在刻蚀过程中会形成表面小丘,影响表面光滑性。文章重点研究了MEMS工艺中的TMAH湿法刻蚀获得光滑刻蚀表面的工艺。实验...
关键词：湿法刻蚀 TMAH MEMS 微机械技术 微加工工艺 半导体 
微型多道成像光谱分析系统集成化的探索被引量：4
《半导体光电》1995年第4期326-328,共3页温志渝 林鹏 胡松 袁祥辉 陈小强 
国家自然科学基金
提出用微机械技术和常规半导体集成电路微细加工技术将庞大复杂的多道成像光谱分析系统集成化和微型化的新思想。研究了微型多道成像光谱分析系统的基本结构、工作原理和主要的制作方法。讨论了实验分光系统、成像系统和高灵敏度探测器...
关键词：分析仪器 微机械技术 集成技术 光谱分析 
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