微机械热电堆

作品数：4被引量：5H指数：2
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CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器的设计被引量：1
《红外技术》2012年第9期535-540,共6页高璇 郭涛 欧文 明安杰 刘谨 
国家重点自然科学基金“无线、集成化无源传感器技术基础研究”,编号:61136006;国家02专项“集成电路与传感器集成制造与生产技术”,编号:2011ZX02507
提出了一种与CMOS工艺兼容、高响应率、低噪声的微机械热电堆红外探测器。该结构热电偶数目为两对,材料为P/N型多晶硅,吸收层材料为TiN。采用较少热电偶对的方式来降低噪声,引入共振谐振腔结构来提高红外吸收率。阐述了探测器的基本工...
关键词：热电堆 红外探测器 CMOS兼容 谐振腔 TIN 
CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究
《浙江大学学报（工学版）》2011年第6期1043-1047,1107,共6页徐德辉 熊斌 王跃林 
通过设计2种不同微机械热电堆红外探测器阵列结构,对微机械热电堆红外探测器阵列性能进行研究.阵列器件采用二维的面阵列结构,单元探测器分别以串联和并联2种方式分别组成阵列,微机械热电堆的热电偶材料采用N型多晶硅和铝,结构支撑膜为...
关键词：微机械热电堆 红外探测器 探测器阵列 CMOS兼容 
CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器被引量：2
《光学学报》2010年第10期2817-2820,共4页徐德辉 熊斌 王跃林 
微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。提出了一种采用互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂...
关键词：探测器 微机械热电堆 红外探测器 自对准 CMOS兼容 微机电系统 
微机械热电堆红外探测器的设计被引量：2
《传感器与微系统》2008年第5期76-78,共3页张萍 周汉昌 郝晓剑 
阐述了微机械热电堆的设计原理、所用材料及主要结构,并研究了3×3阵列的微机械制造工艺,该热电堆结构支撑结构为氮化硅—氧化硅—氮化硅的复合介质膜。热电偶材料采用多晶硅和铝,热电偶采用并列排布的结构,对冷端覆盖了绝热层,用以提...
关键词：热电堆 红外 微电子机械系统 
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