微细加工工艺

作品数：13被引量：15H指数：3
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相关作者：张卫平陈文元吴校生李勇刘武更多>>
相关机构：上海交通大学清华大学中国科学院中国科学院微电子研究所更多>>
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磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究被引量：3
《微细加工技术》2004年第1期68-72,共5页吴校生 陈文元 赵小林 张卫平 何淼 
863计划(2002AA745120);上海市科委2002年重大项目"微机电系统"中的子项目---"先进惯性传感器
介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺。磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作...
关键词：磁悬浮 转子 微陀螺 微细加工工艺 平面线圈 体硅腐蚀 
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