微型惯性开关

作品数：4被引量：12H指数：2
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基于微电铸工艺的摩擦接触式微型惯性开关
《航空制造技术》2021年第6期66-72,81,共8页杜立群 杨晓臣 于洋 王胜羿 刘蓬勃 赵剑 
国家自然科学基金(51975103,61874019)。
针对微型惯性开关闭合时间短、接触弹跳问题,设计了增强接触效果的摩擦接触式微型惯性开关。基于MEMS惯性开关工作原理,建立了开关物理模型,研究了不同类型惯性开关的闭合性能,提出了增强接触的摩擦接触方法,设计了摩擦接触式微型惯性...
关键词：MEMS惯性开关 弹跳 闭合时间 摩擦接触 微电铸工艺 
基于微电铸工艺的镍微型惯性开关的研制被引量：1
《电加工与模具》2019年第2期47-51,共5页杜立群 王伟泰 杜成权 刘旭强 赵剑 
国家自然科学基金资助项目(51475245)
为满足安全气囊辅助系统对信号识别的可靠性要求,采用UV-LIGA叠层光刻和精密微电铸工艺在不锈钢基底上制作了一款轴向触发的镍微型惯性开关,其利用阿基米德螺旋梁结构来支撑悬空质量块,中心止挡柱作为螺旋梁过载保护结构,开关敏感方向...
关键词：微型惯性开关 误差补偿 落锤试验 
基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真被引量：4
《功能材料与器件学报》2008年第3期629-633,共5页杨卓青 丁桂甫 蔡豪刚 付世 赵小林 
国家863资助项目(No.2006AA04Z308);国家基础研究计划项目(No.A1420060154)
基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏。对所设计开...
关键词：微型惯性开关 非硅表面微加工 设计 动力学仿真 
微机电系统惯性电学开关的设计与制作被引量：7
《中国机械工程》2008年第9期1033-1036,共4页杨卓青 丁桂甫 蔡豪刚 刘瑞 赵小林 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z308);国家重点基础研究发展计划资助项目(A1420060154)
基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵...
关键词：非硅表面微加工 微型惯性开关 设计与制作 微机电系统(MEMS) 
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