立方氮化硼薄膜

作品数：71被引量：74H指数：5
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硼缓冲注入层对氮化硼薄膜生长的影响
《核技术》2006年第2期116-119,共4页谭俊 蔡志海 张平 
国家自然科学基金资助(59971065)项目
采用射频磁控溅射法在注硼的硅和高速钢基体上沉积制备c-BN薄膜,采用红外光谱(Infrared spectra, IR)、X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectrum,XPS)和原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM) 等分析方法对沉积的薄膜进行了...
关键词：立方氮化硼薄膜 高速钢基体 离子注入 射频磁控溅射 
离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究被引量：2
《核技术》2003年第5期349-352,共4页谭俊 张平 蔡志海 王晓晴 唐云 
国家自然科学基金(59971065)资助
运用离子束辅助沉积(IBAD)法在硅片上制备了立方氮化硼(c-BN)薄膜, 研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中c-BN含量的影响。用红外光谱(FTIR)及X射线光电子能谱(XPS)分析技术对得到的c-BN膜进行了分析。结果表明: 合...
关键词：立方氮化硼薄膜 离子束辅助沉积 X射线光电子能谱分析 红外光谱分析 
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