唐云

作品数:6被引量:6H指数:1
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供职机构:装甲兵工程学院材料科学与工程系更多>>
发文主题:立方氮化硼薄膜立方氮化硼离子束辅助沉积C-BN更多>>
发文领域:金属学及工艺一般工业技术轻工技术与工程电子电信更多>>
发文期刊:《真空》《中国表面工程》《核技术》《电刷镀技术》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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多步法在硼膜中注N的结构研究
《电刷镀技术》2005年第1期24-26,共3页唐云 张平 谢凤宽 
用离子束溅射硼靶,在W6Mo5Cr4V2钢上沉积一层硼膜,然后用反冲注入的方法注氮以形成氮化硼(BN),注入时采用逐次递减的能量,即50keV,30keV,10keV(称之为多步骤注入)。用XPS分析膜的成分深度分布及元素的化学价态:用傅立叶红外(FTIR...
关键词:BN 结构研究 氮化硼 混合 均匀 价态 成分 注入 反射谱 红外 
高速钢基体离子注氮对c-BN薄膜制备的影响研究
《真空》2004年第5期19-23,共5页谭俊 蔡志海 张平 唐云 
国家自然科学基金资助项目(59971065)
采用射频磁控溅射法在离子注氮的高速钢基体上沉积制备c-BN薄膜,主要研究离子注氮层对c-BN薄膜相结构和内应力的影响;采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析,包括傅立叶红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(A...
关键词:立方氮化硼薄膜 高速钢基体 离子注人 射频磁控溅射 
离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究被引量:2
《核技术》2003年第5期349-352,共4页谭俊 张平 蔡志海 王晓晴 唐云 
国家自然科学基金(59971065)资助
运用离子束辅助沉积(IBAD)法在硅片上制备了立方氮化硼(c-BN)薄膜, 研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中c-BN含量的影响。用红外光谱(FTIR)及X射线光电子能谱(XPS)分析技术对得到的c-BN膜进行了分析。结果表明: 合...
关键词:立方氮化硼薄膜 离子束辅助沉积 X射线光电子能谱分析 红外光谱分析 
辅助镀膜离子源及立方氮化硼薄膜的制备研究
《装甲兵工程学院学报》2003年第1期18-21,共4页蔡志海 谭俊 唐云 张平 
国家自然科学基金资助项目(59971065)
为选出合适的辅助离子源进行沉积制备c-BN薄膜,通过对高能和低能辅助镀膜离子源的重要性能进行比较研究之后,在单晶Si基体进行应用制备立方氮化硼薄膜,用红外光谱(FTIR)及光电子能谱(XPS)分析技术,对不同辅助离子源制备沉积的薄膜,进行...
关键词:离子源 离子束辅助沉积 立方氮化硼薄膜 
硼膜多步骤注N的镀层结构研究
《中国表面工程》2002年第4期25-27,共3页唐云 张平 谭俊 蔡志海 
国家自然科学基金资助项目(59971065)
用离子束溅射硼靶,在W6Mo5Cr4V2钢上沉积一层硼膜,再用反冲注入法注氮以形成氮化硼(BN),注入时采用逐次递减能量(即50 keV,30 keV,10 keV)的多步骤注入。用XPS分析膜的成分深度分布及元素的化学价态;用傅立叶红外(FTIR)反射谱分析膜的结...
关键词:硼膜 镀层 离子注入 氮化硼 结构 
立方氮化硼薄膜的制备与表征被引量:4
《中国表面工程》2002年第2期16-20,共5页谭俊 蔡志海 张平 唐云 
国家自然科学基金资助项目(59971065)
在对国内外立方氮化硼薄膜的制备工艺及其表征方法进行了综述的基础上,分析了立方氮化硼膜制备中存在的问题,即薄膜的内应力高,结合强度低,沉积温度高,沉积速率低,以及cBN中SP3键含量不稳定。并提出了今后的研究方向:①cBN膜成核生长机...
关键词:立方氮化硼 薄膜 制备工艺 表征 PVD CVD 
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