立方氮化硼薄膜

作品数：71被引量：74H指数：5
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立方氮化硼薄膜的形核与生长过程试验研究
《中国表面工程》2005年第6期10-15,共6页蔡志海 张平 谭俊 
国家自然科学基金资助项目(59971065)
采用离子束辅助沉积法在硅片上成功制备了一定立方相含量的氮化硼薄膜,采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析,包括傅立叶红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)等分析方法;并利用FTIR结果系统研究了衬底...
关键词：c-BN薄膜 离子束辅助沉积 形核 生长 
立方氮化硼薄膜的制备与表征被引量：4
《中国表面工程》2002年第2期16-20,共5页谭俊 蔡志海 张平 唐云 
国家自然科学基金资助项目(59971065)
在对国内外立方氮化硼薄膜的制备工艺及其表征方法进行了综述的基础上,分析了立方氮化硼膜制备中存在的问题,即薄膜的内应力高,结合强度低,沉积温度高,沉积速率低,以及cBN中SP3键含量不稳定。并提出了今后的研究方向:①cBN膜成核生长机...
关键词：立方氮化硼 薄膜 制备工艺 表征 PVD CVD 
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