磷化镓

作品数：117被引量：106H指数：5
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表面粗化提高红光LED的光提取效率被引量：6
《固体电子学研究与进展》2008年第2期245-247,共3页刘思南 邹德恕 张剑铭 顾晓玲 沈光地 
北京市人才强教计划项目(批准号:05002015200504);北京市科委高效高亮度单芯片半导本照明器件的研发与产业化项目(批准号:D0404003040221)
介绍了通过出光表面粗糙化来减少全反射的方法,实验中使用化学湿法腐蚀的技术获得预计的粗糙形貌,结果给出不同参数下的光强和光辐射功率比较,器件的外量子效率得到了约29%的提高。从理论和测试结果两方面阐述了表面粗糙化对提高红光LE...
关键词：发光二极管 表面粗化 磷化镓 湿法腐蚀 取光效率 
ICP刻蚀GaP研究及对LED性能的影响被引量：1
《固体电子学研究与进展》2008年第1期154-157,共4页王海玲 郭霞 周跃平 沈光地 
国家自然科学基金(No.60506012);北京市教育委员会科技发展计划重点项目(KZ200510005003);北京市人才强教计划项目(05002015200504);国家973计划(2006CB604902);北京市科技新星计划(2005A11)
深入研究了GaP材料在高密度感应耦合等离子体刻蚀系统中刻蚀选择比和刻蚀速率随刻蚀系统的源功率、射频功率、腔室压强的变化规律,即通过改变其中一个参数而保持其它参数不变来得出变化规律;同时将刻蚀GaP材料应用到红光LED制作,即电流...
关键词：磷化镓 感应耦合等离子体 刻蚀 
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