镀膜机

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真空太阳集热管磁控溅射镀膜机的自动化实现
《太阳能》2012年第15期23-25,共3页张卫峰 
一引言真空镀膜机是太阳能真空管生产的关键设备，随着自动化技术的发展，其工艺要求及自动化程度也越来越高。最初的真空镀膜机控制系统采用继电器控制，由模拟线路板及单片机等电路组成实现控制功能，因线路繁杂以及电子元器件的不稳...
关键词：真空镀膜机 自动化技术 真空太阳集热管 磁控溅射 太阳能真空管 自动化程度 继电器控制 电子元器件 
用于标定镀膜机的膜厚样板的制备和测量
《工业计量》2012年第1期5-8,共4页刘一 赵俊 邹子英 雷李华 
国家质检总局科技计划项目:高精度台阶标准片的研制(2008qk74);机密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金:纳米几何量标准样板的制备和溯源性研究(pil0913)
镀膜在国民经济生活中得到广泛应用。影响镀膜性能的一个主要参数是膜层在整个基片上的厚度均匀性。利用挡板在基片上多个区域沉积台阶,测量台阶高度的差值用于分析膜厚的均匀性。通过集成非接触聚焦式测头的纳米测量机进行测量,针对镀...
关键词：膜厚均匀性 纳米测量机 激光聚焦式测头 
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