镀膜机

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真空镀膜机电子束蒸发器工作原理及故障处理
《设备管理与维修》2023年第11期66-67,共2页李凯 
根据Leybold真空镀膜机电子束蒸发器的工作原理,结合实际维修经验,分析电子束蒸发器常见故障的成因,梳理排查步骤及解决措施,总结蒸发器日常使用中的注意事项。
关键词：真空镀膜机 电子束蒸发器 故障处理 
光学真空镀膜机的应用及发展
《设备管理与维修》2021年第11期88-89,共2页孙海新 
介绍光学镀膜机的结构以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面的决定性作用,针对Lens的膜系生产提出了镀膜工艺的改进方法,以达到提高生产精度、降低生产和维护成本、减少污染的目的。
关键词：光学镀镆 离子源 射频源 真空泵 分子泵 
磁控溅射镀膜机真空摆动故障分析及维修
《设备管理与维修》2013年第10期24-25,共2页张效奎 刘致顺 祁永胜 
真空镀膜机使用中出现真空摆动故障,原因是真空镀膜机抽气系统抽气能力不稳定与压升率达不到所致。提出维修方案,对所出现的故障逐一维修。
关键词：真空镀膜机 故障分析 维修 
SBC-6SA型真空镀膜机真空洁净度提高的改进
《设备管理与维修》2011年第3期41-41,52,共2页马彦亭 
针对SBC-6SA型真空镀膜机在镀膜生产中真空洁净度不稳定、油蒸汽返流的问题,分析原因并改进,保证了产品质量。
关键词：真空镀膜 真空洁净度 改进 
APS1104真空镀膜机等离子源故障诊断与排除
《设备管理与维修》2006年第1期20-21,共2页樊剑鸣 叶勇进 
分析了APS1104真空镀膜机等离子源的故障现象,给出了等离子源故障诊断与排除方法。
关键词：真空镀膜机 等离子源 加热器 
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