流速传感器

作品数：73被引量：111H指数：5
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具有温度补偿的微细圆柱基MEMS流速传感器研究
《半导体光电》2024年第1期29-35,共7页黄皓凯 胡致远 叶丰明 杨卓青 
国家自然科学基金项目(61974088)。
目前常见的流速传感器由于尺寸原因,只能介入管径较大的管道进行液体流速测量。设计并制造了一种可介入小管径管道的、具有温度补偿功能的圆柱基流速传感器,器件采用旋转投影曝光和微机电系统(MEMS)技术制作而成,包含一个薄膜型加热电...
关键词：微机电系统 微细圆柱基底 热阻式 温度补偿 流速传感器 
自加热非晶锗热电阻MEMS流速传感器的制造与测试被引量：1
《半导体光电》2023年第2期175-180,共6页赵韦良 崔峰 
航天科学技术基金项目(20C-JJ02-011);上海市科委专业技术服务平台资助项目(19DZ2291103)
为扩大流速传感器的测量范围并降低功耗,制造并测试了一种基于自加热非晶锗薄膜热电阻的MEMS流速传感器,它是由嵌入氮化硅薄膜的四个非晶锗热敏电阻和一对环境测温补偿电阻组成。四个非晶锗热电阻同时作为自加热热源和测温元件,相互连...
关键词：MEMS 流速传感器 非晶锗薄膜热电阻 自加热 恒电流工作 
基于MEMS技术的仿生纤毛风速传感器的设计和仿真
《半导体光电》2022年第6期1075-1079,共5页卢建勋 周南彦 刘武 
国家自然科学基金项目(61871266);上海市科委专业技术服务平台项目(19DZ2291103)。
设计了一种可以实现二维风速测量的电容式纤毛传感器,其特点为通过差分电容检测流速,传感器运动结构所对应的背硅被完全刻蚀。采用有限元分析软件,通过流体-固体-静电场的多物理场仿真,分析得到了传感器的差分电容与风速的变化关系。结...
关键词：MEMS 流速传感器 仿真 差分电容 纤毛 
基于非晶锗热电阻的柔性MEMS流速传感器的设计与仿真被引量：2
《半导体光电》2021年第2期168-173,共6页冯剑玮 崔峰 涂云婷 赵韦良 
航天科学技术基金项目(20C-JJ02-011);上海市科委专业技术服务平台资助项目(19DZ2291103)。
针对铂等常用金属热敏材料电阻温度系数(TCR)不高,导致热式MEMS流速传感器宽量程测量时功耗高的问题,设计了一种基于非晶锗(a-Ge)薄膜热电阻的低功耗、宽量程柔性MEMS流速传感器。非晶锗热电阻材料具有较高的TCR系数(约为-0.02/K)和室...
关键词：柔性MEMS 流速传感器 热电阻 非晶锗 仿真 
基于双稳态势能调节的仿生纤毛流速传感器被引量：1
《半导体光电》2021年第1期30-34,共5页梁贺龙 刘武 许海军 訾鹏 
国家自然科学基金项目(61871266);青岛海洋科学与技术国家实验室开放基金项目(QNLM2016ORP0404);上海市自然科学基金项目(17ZR1414500);航空科学基金项目(2016ZD57006);上海市科委专业技术服务平台项目(19DZ2291103)。
针对流速传感器的高分辨率需求,提出了一种基于双稳态势能调节的仿生纤毛流速传感器。该传感器由纤毛、电极层、上部结构层、中间连接层和下部支撑层等多层结构构成,其中上部结构层一方面采用不对称梳齿结构实现差分电容检测,另一方面...
关键词：MEMS 双稳态 电容 纤毛 流速传感器 
柔性MEMS流速传感器的制造及其电路设计被引量：5
《半导体光电》2017年第3期309-314,共6页杨刚 崔峰 樊冬 刘武 张卫平 吴校生 
国家级重点实验室基金项目(9140C790405140C79330);上海市科委专业技术服务平台项目(16DZ2290103)
针对流速传感器大多存在测量量程小、柔性小而无法适应较大量程和复杂曲面的测量问题,提出了一种宽量程柔性MEMS流速传感器,结合热损失和热温差的工作原理实现对流速的测量。选取聚酰亚胺(PI)作为柔性衬底材料和铂(Pt)薄膜为热敏材料,...
关键词：MEMS 流速传感器 柔性 双电桥电路 恒温差模式 
用于迫弹速度测量的柔性MEMS流速传感器仿真被引量：3
《半导体光电》2016年第3期318-322,326,共6页曾庆贵 崔峰 杨刚 刘武 陈文元 张卫平 
国家级重点实验室基金项目(9140C790405140C79330);上海市科委平台建设资助项目(11DZ2290303)
大部分迫弹采用引信涡轮发电机兼作为弹道辨识用的速度传感器,但是涡轮发电机存在着低速停转和高速限速等测速问题。设计了一种贴装在引信上测量迫弹飞行速度的宽量程柔性MEMS流速传感器。利用有限元仿真软件对迫弹引信进行了流场仿真,...
关键词：迫弹 引信 柔性MEMS 流速传感器 仿真 
基于双光纤布拉格光栅的流速传感器被引量：9
《半导体光电》2009年第5期759-762,共4页杨淑连 申晋 李田泽 
山东理工大学科技基金项目(2005KJM27)
设计了一种基于双光纤布拉格光栅的新型流速传感器,它包括双光纤光栅压强传感机构和文丘里管。导出了双光纤布拉格光栅的波长漂移差与流速的关系。压强传感机构中的密闭铝箔管横截面两边的压力差导致等腰三角形悬臂梁变形,从而导致安装...
关键词：光纤传感器 流速传感器 流量测量 光纤布拉格光栅 
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