膜系

作品数：450被引量：965H指数：14
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X射线超反射镜鲁棒性膜系设计
《长春理工大学学报（自然科学版）》2021年第5期6-11,共6页陶保全 郭祥帅 李博涵 匡尚奇 李超逸 
国家自然科学基金项目(61405189,61974142);吉林省科技发展计划项目(20190201013JC)。
为降低X射线超反射镜镀膜误差导致的光谱性能退化、提高其可制备性,提出了基于多目标遗传算法的X射线超反射镜鲁棒性设计方法,将X射线超反射镜的反射带性能和膜厚随机误差引起的反射带偏差作为两个优化目标进行优化。考虑到X射线光学系...
关键词：多层膜设计 X射线超反射镜 鲁棒性设计 发散角 
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备被引量：3
《光学精密工程》2018年第10期2395-2406,共12页匡尚奇 李硕 杨海贵 霍同林 周洪军 
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61405189);吉林省科技发展计划资助项目(No.20150101019JC;20170312024ZG)
极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,与传统膜系设计相比,离散化膜系所制备多层膜具有更为优良的EU...
关键词：多层膜设计 极紫外 离散化设计 宽带多层膜 
基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
《光子学报》2018年第4期46-54,共9页匡尚奇 张超 李硕 杨海贵 霍同林 周洪军 
国家自然科学基金青年基金(No.61405189);吉林省科技发展计划(Nos.20150101019JC;20170312024ZG)资助~~
提出了一种基于量子遗传算法的宽带极紫外多层膜的离散化设计方法,解决了在膜系设计中普遍采用的遗传算法存在求解精度低的问题.同时在基于量子遗传算法的膜系设计方法中对膜系进行了离散化设计,解决了在仅由时间控制膜厚且沉积速率较...
关键词：光学多层膜 膜系设计 量子遗传算法 宽带极紫外多层膜 离散化设计 
基于聚类全局优化算法的薄膜设计优化技术的研究被引量：2
《光学学报》2015年第9期365-370,共6页李资政 杨海贵 王笑夷 王彤彤 申振峰 高劲松 
国家自然科学基金(61306125);吉林省科技发展计划(Y3453UM130;Y4703UJ140);吉林省留学人员科技创新创业项目(Y3293UM130);长春光机所领域前沿创新项目(Y3CX1SS143)
基于聚类全局优化算法提出了一种新的薄膜设计优化方法,它可以迭代地改变初始膜系结构,相比传统的局域优化技术,能够计算得更加全面、彻底。即使初始膜系和设计目标差距非常大,这种聚类全局优化方法依然能够优化出很好的结果,克服了传...
关键词：薄膜 膜系设计优化 聚类算法 全局优化算法 
GaSb基激光器腔面膜的材料选取及膜系设计被引量：2
《强激光与粒子束》2014年第1期37-40,共4页高婷 曲轶 徐正文 王鑫 李再金 
吉林省科技发展计划项目(20111810);国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金项目(U1330136)
为了提高GaSb基激光器腔面膜的反射率,根据有关薄膜设计理论并借助薄膜设计软件,设计出激光器腔面膜膜系.使高反膜在2.0～3.5 μm波段的理论反射率高于95％;增透膜在波长为2.5 μm处的理论透射率高于99％.并经过反复实验操作比较了实验...
关键词：薄膜设计 GaSb基激光器 激光器腔面膜 薄膜材料 
589nm激光器光路整合系统滤光膜的研制被引量：7
《中国激光》2013年第3期152-156,共5页付秀华 黄金龙 莫朝燕 王煜 
吉林省科技发展计划项目(20086012)资助课题
为了提高黄光激光器的信噪比,采用Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料,通过电子枪蒸发及离子辅助沉积技术,利用制备的589、1064、1178、1342nm波长处分别有特定透射率的干涉截止滤光片对无用光信号进行过滤。在实际镀制过程中,由于沉积工艺...
关键词：薄膜 干涉截止滤光片 膜系设计 监控误差 黄光激光器 
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