云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 对向靶溅射

对向靶溅射: 作品数：21被引量：12H指数：2; 导出分析报告; 相关领域：理学化学工程更多>>; 相关作者：姜恩永刘裕光孙多春林川王怡更多>>; 相关机构：天津大学清华大学广西大学北京大学更多>>; 相关期刊：《科学通报》《金属学报》《电子科技文摘》《材料研究学报》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金天津市21世纪青年科学基金更多>>

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氮化铁梯度薄膜的制备和磁性研究被引量：1: 《真空科学与技术》1996年第1期1-4,共4页林川姜恩永孙多春田民波; 1993~1995年国家自然科学基金; 用对向靶溅射方法制备出氮化铁梯度薄膜。利用X射线光电子能谱（XPS）对样品进行了深度剖面分析：铁原子和氮原子的百分含量沿膜厚方向呈梯度变化。X射线衍射表明膜中含有α－Fe，α”－Fe16N2，ε－FexN（2＜x≤3）和ξ-FeN各相。随着...; 关键词：对向靶溅射氮化铁薄膜梯度薄膜

对向靶溅射氮化铁梯度薄膜被引量：1: 《科学通报》1995年第9期851-854,共4页姜恩永林川刘裕光孙多春田民波; 国家自然科学基金资助项目; 氮化铁薄膜具有优异的磁性能,同时又具有良好的耐腐蚀性,是一种优异的高密度磁记录磁头材料.目前已广泛确认的氮化铁系化合物共有4相,分别是α″-Fe_(16)N_2,γ′-Fe_4N,ε-Fe_xN(2≤x≤3)和ζ-Fe_2N.它们的磁矩和Curie温度随含氮量的...; 关键词：对向靶溅射氮化铁薄膜梯度薄膜磁性

氮化铁梯度薄膜的制备被引量：3: 《材料研究学报》1995年第1期50-54,共5页姜恩永刘晖刘明升林川孙多春; 国家自然科学基金; 用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料．卢瑟福背散射分析结果表明，铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化．在薄膜中有ζ－Ｆｅ２Ｎ，ε－ＦｅｘＮ（２＜ｘ＜３），γ′－Ｆｅ４Ｎ和α″－Ｆｅ１６Ｎ２等物相．振...; 关键词：对向靶溅射氮化铁薄膜梯度薄膜卢瑟福背散射

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