纳米压印光刻

作品数：48被引量：105H指数：6
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相关作者：张大卫田延岭贾晓辉丁玉成兰红波更多>>
相关机构：天津大学佳能株式会社中国科学院西安交通大学更多>>
相关期刊：《中国科技产业》《集成电路应用》《微纳电子技术》《功能材料与器件学报》更多>>
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纳米压印光刻模具制作技术研究进展及其发展趋势被引量：19
《机械工程学报》2009年第6期1-13,共13页兰红波 丁玉成 刘红忠 卢秉恒 
国家重点基础研究发展计划(973计划,2009CB724202);国家高技术研究发展计划(863计划,2006AA04Z322);山东省自然科学基金(Y2007F49)资助项目
模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography,NIL)与传统光学光刻工艺最大的区别所在,模具作为压印特征的初始载体直接决定着压印图型的质量,要实现高质量的压印复型,必须要有高质量的压印模具。不同于传统光学光刻使用的掩模(4X),纳...
关键词：纳米压印光刻 模具制作 三维模具 大面积模具 软模具 
基于TiN涂层/玻璃基体的热压印模板的制备与性能被引量：3
《功能材料与器件学报》2008年第1期79-83,共5页周志涛 王海容 蒋庒德 刘冲 
国家自然科学基金资助项目(No.50405030);973子项目(No.2004CB619302)
对于热压印光刻而言,制备具有精确几何结构、良好耐磨损性能以及长使用寿命模板至关重要。在分析现有Si或SiO2模板使用性能基础上,提出了在TiN涂层/玻璃基体上制备热压印模板。首先采用直流磁过滤电弧在玻璃上沉积TiN薄膜,然后,通过聚...
关键词：纳米压印光刻 热压印 压印模板 聚焦离子束 硬质涂层 
纳米压印光刻中的多步定位研究被引量：3
《西安交通大学学报》2006年第3期261-264,269,共5页刘红忠 丁玉成 卢秉恒 王莉 邱志惠 
国家自然科学基金资助项目(50505037);国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716203);中国博士后科学基金资助项目(2005037242)
在步进重复式压印光刻中,为了避免承片台支撑绞链结构间隙及微观姿态调整往返运动导致的表面材料不规则形变,建立了单调、无振荡、多步逼近目标位置的宏微两级驱动系统,并提出了径向基函数-比例、积分、微分(RBF-PID)及单调位置控制算法...
关键词：纳米压印光刻 多步定位 非线性控制 
高保真度五步加载纳米压印光刻的研究被引量：2
《西安交通大学学报》2005年第9期933-936,共4页严乐 刘红忠 丁玉成 卢秉恒 
国家重点基础研究发展规划资助项目(2003CB716202);国家高技术研究发展计划重点资助项目(2002AA420050);国家自然科学基金资助项目(50275118).
从理论上建立了压印光刻工艺中留膜厚度与压印力的关系,为压印预设曲线的建立提供了理论依据.基于液态光敏抗蚀剂在紫外光照射下发生光固化反应这一特性,对固化过程进行了详细的分析,建立了抗蚀剂的固化深度与紫外光曝光量之间的关系....
关键词：压印光刻 加载 抗蚀剂 高保真度 
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