多层布线技术

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薄膜MCM－D中多层布线技术
《集成电路通讯》2003年第3期10-13,共4页潘结斌 
介绍薄膜MCM-D多层布线设计中建模、EDA仿真及版图设计所遵循的规则及其多层布线工艺技术中应着重考虑的问题。
关键词：EDA仿真 版图设计 多层布线 薄膜技术 MCM-D 
多层布线技术
《集成电路通讯》2002年第2期11-12,21,共3页孔荆钟 安涛 等 
以布线材料，布线工艺，布线平坦化技术以及影响布线质量的因素等几个方面详细讨论了多层布线技术，并讨论了当前多层布线技术面临的问题。
关键词：多层布线 VLSI 平坦化 布线材料 布线结构 
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