绝缘衬底

作品数：47被引量：63H指数：4
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相关作者：刘明周再发李伟华丁桂甫商立伟更多>>
相关机构：中国科学院株式会社半导体能源研究所三星电子株式会社中国科学院微电子研究所更多>>
相关期刊：《电力电子》《电子元器件应用》《化工学报》《国外传感技术》更多>>
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采用菱形辐条的高对称MEMS蜘蛛网状盘式谐振陀螺仪
《微纳电子技术》2024年第11期91-97,共7页许杨 王琮琛 杨军营 陈建霖 王诗男 
微电子机械系统(MEMS)陀螺仪因抵抗制造误差能力差和品质因数低等问题限制了其在高端领域的应用。通过对MEMS陀螺仪的理论分析和有限元仿真,基于绝缘体上硅(SOI)工艺设计并制备出了一种由多个同心嵌套的蜘蛛网环和菱形辐条组成的新型MEM...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 绝缘衬底上硅(SOI) 蜘蛛网环 菱形辐条 
SOI压阻式面内加速度传感器的交叉灵敏度
《微纳电子技术》2019年第10期822-827,共6页袁本铸 许煜 贾琛 
设计了一种基于绝缘衬底上硅(SOI)片的面内振动压阻式加速度传感器,并针对其交叉灵敏度性能进行了研究,分析得出传感器的灵敏度与压阻微梁的轴向应力呈正比关系,并通过仿真说明该结构形式的加速度传感器具有非常低的交叉灵敏度,对检测...
关键词：绝缘衬底上硅(SOI)片 面内振动 压阻式传感器 加速度传感器 交叉灵敏度 
原子力显微镜探针批量制备工艺分析被引量：5
《微纳电子技术》2016年第2期119-123,共5页李加东 苗斌 张轲 吴东岷 
国家自然科学基金项目(61573346;61104226);中国科学院青年促进会人才项目(2014278);中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室资助项目;江苏省科技支撑计划工业部分资助项目(BE2013056)
为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖形貌的影响,给出了纳米硅针尖的缺陷类型以及产生缺陷针尖的原...
关键词：原子力显微镜(AFM) 探针 绝缘衬底上的硅(SOI) 自锐式 曲率半径 
一种新型岛膜压力传感器的研究与设计被引量：1
《微纳电子技术》2015年第7期446-451,共6页余成昇 展明浩 胡芳菲 李凌宇 何凯旋 许高斌 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA041101)
设计了一种量程为180 kPa的新型岛膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过ANSYS仿真软件,得出了在岛宽为500μm、岛厚为40μm、梁宽为200μm、敏感薄膜厚为15μm的情况下,该结构具有较好的线性度及灵敏度。提出了一种基于两层SOI硅-硅直接键...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 压力传感器 岛膜结构 ANSYS仿真 硅-硅直接键合 绝缘衬底上硅(SOI) 
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